Elektron Kiriş Buharlaşma Kaplama Ekipmanları
EB PVD optik kaplama makinesi, uygulamalar: Gözlükler, yansıtıcı ayna, cep telefonu arkası, koruyucu kapak, optik iletişim, optik ekran, vb.
- ürün tanıtımı
IKS-OPT2700 Elektron Kirişi Buharlaşma Optik Kaplama Makinesi
l Uygulamalar:
Gözlükler, yansıtıcı ayna, cep telefonu arkası, koruyucu kapak, optik iletişim, optik ekran, vb
l Ekipman kısa
IKS-OPT2700 geniş alan optik film kaplaması için tasarlanmıştır. Elektron ışınlı buharlaştırıcı kaplama makinesidir. Kaplama makinesi sistemi vakum odası, vakum pompası, Vakum algılama ve kontrol, alt tabaka ısıtma sistemi, elektron ışın buharlaşma sistemi, iyon kaynağı destekli biriktirme sistemi, dirençli buharlaşma sistemi, film kalınlığı izleme sistemi, çalışma gazı hacim akış kontrol sistemi, işlerden oluşmaktadır. parça rotasyon sistemi ve PLC tarafından kontrol edilen otomatik kaplama.
Buharlaşma materyali yaygın olarak, itriyum florür, praseodim florür, germanyum, çinko sülfit, magnezyum florür, titanyum dioksit, silikon dioksit, zirkonya, kobalt, galyum, selenyum ve diğer metaller gibi nadir metallerden kullanılır. Reflektörlerin optik malzemelerinde bakır, molibden, silikon, germanyum ve diğer metaller yaygın olarak kullanılır.
Görünür ışık renkli film, alüminyum yansıtıcı film, AF anti-parmak izi filmi, düşük erime noktalı organik film, görünür ışık spektroskopik filmi, görünür ışık yansıma önleyici film, vb kaplama olabilir
l Ekipman Özellikleri
IKS-OPT2700 geniş alanlı optik film kaplama sistemi, yeniden optimizasyonlu vakum odası yapısı, yenilikçi kriyojenik pompa düzeni, sabit iş parçası dönen çerçeve tasarımı, gelişmiş elektron ışını buharlaştırma sistemi, ayarlanabilir tekdüzelik ayar cihazı ve hümanize otomatik kaplama işlemi kontrolü kullanılarak En iyi kaplama işlemi elde edilen stabil bir vakum işlemi ortamı, yüksek kalitede kaplanmış ürünler elde etti.
1. Oda Boyutu; Ф2700 × H1670 | 8. taban alanı: L6 × w5.5 × H3.5m |
2. Vakum derecesi: nihai vakum: 6 × 10 -4 Pa ( Isıtma olmadan 24 saat boyunca yüksüz ) | 9.Ağırlık: 8000kg, Zemin ağırlığı: 1000kg / m2 |
3. Kaçak oranı: ＜ 4 × 10 -3 Pa × L / S (Helyum kaçağı kontrolü) | 10.Sıcaklık: 250 ℃ 'ye kadar oda sıcaklığında , sıcaklık homojenliği ±% 5 |
4. Çalışma Vakumu: 6 × 10 -3 Pa ( Otomatik işlem başlatma ) | 11. Güç Kaynağı: Üç Fazlı, 380V , 50Hz , 60-100KW |
5. Düşük Vakum: 10 dakika ＜ 10Pa | 12.Su Soğutma: Hazne akışı ＞ 4000L / H , Pompa akışı ＞ 1800L / H, Soğutma Kompresörü ＞ 1600L / H |
6. Yüksek Vakum: 6 dakika ＜ 8 × 10 -3 Pa | 13.Sıcak Su: Buharlaşma Kaynağı1800L / H, 35-60 ℃ |
7. Vakum ölçümü: Tüm süreç izleme ve gerçek zamanlı nokta toplama |
l Teknik parametreler
Film kalınlığı izleme
| 1.PLC entegre kontrol 2. İnce film biriktirme, 0.01nm / s 3. Hızlı olgun karşılık gelen, elektron tabancasıyla bağlantı |
Akış kontrolü | Kontrol Aralığı: 3 ~ 100sccm ， 5-500sccm, İyon kaynağı ile hassas bağlantı, senkron kontrol, akış kontrolü, Kararlı çıktı, kararlı iyon enerjisi kararlı |
E-ışın kaynağı | Tür: 10KW, A 270 derecelik bir sapma. % 0.5'ten daha az dalgalanma, hassas kontrol nokta şekli ve büyüklüğü, Sistem kontrol çalışma kararlılığı ve yüksek doğruluk. Silah tipi: Tungsten filament, dayanıklı tip |
Direnç buharlaşma kaynağı | Tip: Tungsten botu ısıtılarak buharlaşır. Miktar: İki elektrot seti, kurulumu seçin. Özel kaplama işlemi için uygundur, buharlaşma fonksiyonunu elde etmek için fonksiyon malzemelerini veya metal malzemeleri hedefleyin |
İyon kaynağı | Tip: 4KW Hall iyon kaynağı, Uzun huzme, geniş Sapma açısı, ayrılabilir anot, bakım ve temizlik çok basittir |
Kontrol sistemi | PC arayüzü: 17 inç, 1 takım. TP dokunmatik ekran: 15 omcjes.1set. Ana Sistem: IKS Otomatik programlanabilir mantık kontrolü. IKS PVD tarafından geliştirilen otomatik proses kontrol sistemi, işlemlerin gerçek zamanlı kayıt ve arızaların geri bildirimi için akıllı bir işletim sistemidir. Mükemmel entegrasyon, insanlaşmış tasarım ve operasyonel sistemin güvenli ve akıllı tasarımını sağlamak için kişiselleştirilmiş ihtiyaçları karşılama , Doğru operasyon kontrolü. |
Güvenli tasarım | Ana devre koruma şalteri, toprak koruması, Bileşen anormal alarmı, Sistem çalışması gerçek zamanlı izleme koruması |
l Ürün Üstünlüğü
Teknolojik yenilik
1. Ürünlerin ve teknolojik yenilik sonuçlarının makul şekilde entegrasyonu, kaplama sisteminin kararlı çalışmasını sağlamak için proses ortamını iyileştirmek!
2. Ürün yapısı tasarımı yenilik makul, sağlam, özlü, bakım uygundur! (kullanıcı duruşu tasarımı!)
3. Operasyon ve işletim sistemi yenilik geliştirme, basit bir işlem, verimli ve pratik!
4. Ürünler ve yüksek teknoloji kaplama işlemi elde etmek için proses teknolojisi, verimliliği, homojenliği, mükemmel tekrarlanabilirliği artırmak!
5. Kaplama sistemi çalışmasının akıllı kontrolünü sağlayın!
6. Güvenlik sistemi optimizasyonu, arıza istemi, ayrıntılı çözüm çözmek!
7. Yüksek verimlilik, üretim ve yönetim maliyeti azaltma!
Teknolojik özelliği
1. ürün tasarımı, mükemmel IKS teknolojisi ve ürün performansı kesintisiz yerleştirme entegrasyonu, güvenilir, istikrarlı oluşturmak için
Sabit, güvenli, akıllı kaplama sistemi!
2. Vakum toplama, hızlı ve kararlı vakum ortamını karşılamak için vakum toplama sisteminin yeniden optimize edilmiş tasarımı!
3. Buharlaşma kaynağı ve iyon kaynağı, makul düzen ve yüksek kaliteli işleme teknolojisi, devreye alma teknolojisi, işlemi gerçekleştirmek için
Proses otomatik ayarlama, elektron ışını yenilikçi yapısı ve doğru fiyat, malzeme birikiminin daha doğru ve kararlı olmasını sağlar!
4. Otomatik operasyon kontrol sistemi, doğru ve istikrarlı sistemin yeni gelişme! Basit kurulum, kolay kullanım!
Kaplamalı ürün
Popüler Etiketler: elektron ışını buharlaşma kaplama donanımları, Çin, üreticiler, tedarikçiler, satın almak, özelleştirilmiş, Çin malı
