Yüksek Vakumlu Kütle Debimetresi
Giriş Kütle akış ölçeri (MFC) üç temel cihazdan oluşur: akış sensörü, akış ayırıcı bypass ve baskılı devre kartı, kütle akış oranlarını doğru bir şekilde ölçerek gaz hacminin sıcaklık değişimlerinden dolayı dalgalanma göstermesini engeller. MFC yaygın olarak yarı iletken ve IC alanlarında uygulanır ...
- ürün tanıtımı
Şartname
Akış aralıkları | , 20,30,50,100,200,300,500） SCCM ~ 0 ~ 1,2,3,5,10） SLM |
doğruluk | % 1,5 FS ± |
Doğrusallık | ± 1% FS |
Tekrarlanabilirlik | % 0.2 FS ± |
Tepki Süresi | ≤4 sn |
Sıcaklık Katsayısı t | Sıfır: ≤ ± 0.1% FS / ℃ ； Açıklık: ≤ ±% 0.2 FS / ℃ |
Maksimum basınç | 3mpa |
Çalışma sıcaklığı | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Sızdırmazlık malzemesi | Viton, Neopren |
Ayar / çıkış sinyali | 0 V ~ 5.00V (Giriş Empedansı> 100K ， Çıkış Akımı≤3ma) |
Güç kaynağı | + 15V 50mA -15V 50mA |
Elektriksel bağlantı | D alt 15 pimli Kadın |
Diferansiyel basınç | . 0 .01 MPa |
Sızıntı oranı | 1 × 10-8atm • cc / sn He （1 × 10-9 Pa • m 3 / sn He） |
Standart ortak | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ”, φ4 (İç) × 1 Hortum Bağlayıcı, VCR1 / 4”, Swagelok1 / 4 ”, φ6 (İç) × 1 Hortum Bağlayıcı |
Media | Tüm gaz |
Emi | CE |
Ağırlık | hafif 0.92kg |
Giriş
Kütle akış ölçer (MFC) üç temel cihazdan oluşur: akış sensörü, akış ayırıcı baypas ve baskılı devre kartı, kütle akış oranlarını doğru bir şekilde ölçerek gaz hacminin sıcaklık değişimlerinden dolayı dalgalanma göstermesini engeller. MFC, yarı iletken ve IC üretimi, özel malzeme bilimi, kimya endüstrisi, benzin endüstrisi, ilaç endüstrisi, çevre koruma, vakum sistemi araştırmaları vb. Alanlarda yaygın olarak uygulanmaktadır.
Özellikler
◆ Yüksek hassasiyet, uzun servis ömrü, mükemmel tekrarlanabilirlik
◆ Hızlı yanıt, yumuşak başlangıç, güvenilirlik
◆ Geniş çalışma basınç aralığı (yüksek basınç veya vakum durumunda iyi çalışma)
◆ Kolay ve rahat çalışma
Automatic Gerektiğinde, otomatik kontrolü gerçekleştirmek için bilgisayara bağlanabilir ve bilgisayara bağlanabilir.
Sıradan uygulama
MFC'nin tipik uygulamaları arasında difüzyon, oksidasyon, epitaksi, CVD, plazma, aşındırma, püskürtme, iyon implantasyonu ve vakum biriktirme ekipmanı, fiber optik eritme, mikro tepkime ekipmanı, karıştırma ve eşleştirme gazı sistemi gibi diğer alanlar gibi mikroelektronik işlem ekipmanları bulunmaktadır. , kılcal akış kontrol sistemi, gaz kromatografisi ve diğer analitik araçlar.
Yükleme boyutu
Ambalaj: 1. Ahşap kutu
2. Karton
3. isteğiniz gibi
Ödeme: T / T, L / C, vb.
Teslim süresi: normalde ödeme sonra 10 ~ 15 gün
Nakliye: hava veya deniz yoluyla
Popüler Etiketler: yüksek vakum kütle akış ölçer, Çin, üreticiler, tedarikçiler, satın almak, özelleştirilmiş, Çin malı
