Vakumlu Kaplama Makinesinin Detaylı Yapısı

Vakumlu kaplama makinesinin ayrıntılı yapısı

Yüksek vakumlu kaplama makinesi, kaplama makinesi vakum koşullarının üretiminde en yaygın kullanılan ekipmandır. İlgili bileşenleri: mekanik pompa, pompası, yağ difüzyon pompası, yoğuşma pompası, vakum ölçüm sistemi.

Aşağıda, her bir parçanın bileşimi ve çalışma prensibi ayrıntılı olarak açıklanmaktadır.

1. Vakum ana gövdesi - vakum odası

İşleme ürünlerinin farklı gereksinimlerine göre, vakum boşluğunun boyutu aynı değildir, şu anda en yaygın kullanılan, 1.3M, 0.9M, 1.5M, 1.8M, vb., Paslanmaz çelik malzemeden yapılmış boşluktur. pas, katı vb. değil, vakum boşluğunun her bir parçası pompayı bağlamak için kullanılan bir bağlantı vanasına sahiptir.

2. Yardımcı pompalama sistemi

Egzoz sistemi "difüzyon pompası + mekanik pompa + kök pompası + düşük sıcaklık soğuk kapanı + polycold" ten oluşur

Egzoz akımı aşağıdaki gibidir: mekanik pompa ilk önce vakum odasını, difüzyon pompasının vakumu pompalaması için öncül sağlayan düşük vakum durumuna 2.0 * 10-2pa'dan daha az bir pompa basar. Daha sonra, difüzyon pompası vakum odasını pompaladığında, mekanik pompa ve yağ difüzyon pompası, pompalama işlemini bu şekilde tamamlamak için bir seri oluşturur.

Egzoz sistemi, kaplama makinesinin vakum sisteminin önemli bir parçasıdır. Esas olarak mekanik pompa, hidrofor (esas olarak kullanılan kök pompa) ve yağ difüzyon pompasından oluşur.

Mekanik pompa: ön kademeli pompa olarak da bilinen mekanik pompa, en yaygın olarak kullanılan düşük vakumlu pompalardan biridir, sızdırmazlık etkisini korumak ve pompadaki emme boşluğunun hacmini sürekli olarak değiştirmek için mekanik yöntemlere dayanmaktır. böylece pompalanan kaptaki gazın hacmi, vakum elde etmek için sürekli genişlemektedir.

Yaygın olarak kullanılan sürgülü vana tipine (bu, çoğunlukla büyük ekipmanlarda kullanılır), pistonlu pistonlu, sabit ve döner bıçak tipine (şu anda en yaygın kullanılan, bu kağıt esas olarak tanıtılmış olan) dört tipe sahip çok çeşitli mekanik pompalar vardır.

Mekanik pompa genellikle kuru havayı uzaklaştırmak için kullanılır, ancak oksijen içeriği çok yüksek değildir, patlayıcı ve aşındırıcı gazdır, mekanik pompa genellikle kalıcı gazı çıkarmak için kullanılır, ancak su gazı üzerinde iyi bir etkisi yoktur, bu nedenle su giderilemez gaz. Döner kanatlı pompa, statorun, rotorun, şarapnelın, vb. Parçaların, statorun içindeki rotorun parçalarında önemli rol oynar, ancak iki yazılı delikli, iki adet şarapnel parçası olan rotor yivli, iki adet şarapnel parçası olan stator mandellerinden farklıdır orta kısmında bir yay ile, şarapnelın stator duvarına sıkıca yapışmasını sağlamak için.

İki şarapnel yolu dönüşümlü olarak iki rolü oynar, bir yandan hava girişinden gaza, diğer yandan gaz boşaltma pompasına sıkıştırılmıştır. Rotorun her dönüşünde, pompa iki emiş ve iki egzoz tamamlamıştır. Pompa sürekli olarak saat yönünde döndüğünde, döner kanatlı pompa sürekli olarak hava giriş gazı içinden ve sürekli olarak pompanın dışına atılan egzoz gazı içerisinden pompanın pompalanmasının amacına ulaşmak için pompalanır. Sınırlayıcı vakum pompasını iyileştirmek için, pompa statoru yağa batırılmış ve her yerde zararlı alan boşluğu içinde yeterli miktarda tutar, boşluğu doldurur, böylece bir yandan, yağlama, bir yandan, diğer yandan sızdırmaz ve tıkaç boşluğu ve boşluğun zararlı etkisi, gaz molekülünün çeşitli kanallardan boşluğun düşük basıncına doğru geri akışını önler.

Mekanik pompa atmosfer çalışmasından başlar, ana parametresinin limit vakumu, pompalama hızı vardır, bunun tasarımı için budur ve mekanik pompayı önemli temeli seçer. Tek kademeli pompa kabı atmosferden 1.0 * 10-1pa'lık limit vakuma kadar pompalayabilir, çift aşamalı mekanik pompa kabı atmosferden 6.7 * 10-2 pa veya daha yüksek bir değere kadar pompalayabilir.

Ekstraksiyon oranı, döner kanatlı pompa, aşağıdaki formülle hesaplanabilecek nominal devir sayısına göre çalıştığında, birim zaman başına boşaltılabilen gaz hacmini belirtir.

Sth = 2nVs = 2nfsL

Fs, inspirasyonun sonunda uzay-zaman boşluğunun kesit alanı anlamına gelir; L, boşluğun uzunluğunu, katsayı, her rotasyon döngüsünün iki katı rotorun egzoz işlemi anlamına gelir; rotor yatay konumdadır, boşluk-zaman boşluğundaki hacim en büyüktür ve dönme hızı n'dir.

Mekanik pompa egzozunun motor hızı ve kayışların gevşekliği ile etkisi, motor kayışı gevşetildiğinde, motor hızı yavaş olduğunda, mekanik pompa egzozu etkisinin daha da kötüleşmesi, taksitin korunması , ayrıca sık sık mekanik pompa yağ keçesini kontrol etmeniz gerekir, yağ çok azdır, sızdırmazlık etkisini sağlayamaz, pompa sızıntısı içinde, çok fazla yağ, emme deliği tıkalı, inspirasyon ve egzoz, genellikle, yağ seviyesindeki 0,5 cm çevrimdışı.

Turbo pompa / kök pompa: bir çift senkron yüksek hızlı dönen çift yaprak şeklinde veya loblu rotor mekanik pompasına sahip olmaktır, çünkü kök üfleyiciyle aynı şekilde çalışır, bu nedenle kök vakum pompasını, pompanın içindeki pompayı da çağırabilir. büyük ölçüde 100-1 mpa basınç çıkarma hızı aralığı, mekanik pompa egzoz kabiliyeti için bu kapsamda yetersiz eksiklikleri oluşturur, pompa atmosferden çalışmaya başlayamaz, atmosferin doğrudan deşarjı olmaz, rolü sadece giriş ve çıkış arasındaki fark basıncını artırmak, mekanik pompanın geri kalanını tamamlamak için gereklidir, bu nedenle, destek pompası olarak mekanik pompa ile eşleşmelidir.

Proses kullanımında kullanılan mekanik pompa, aşağıdaki hususlara dikkat etmelidir:

1, mekanik pompa temiz ve kuru bir yere monte edilmelidir.

2, temiz ve kuru tutmak için pompanın kendisi, pompa yağı bir sızdırmazlık ve yağlama vardır, böylece belirtilen miktara göre eklenir.

3, düzenli olarak pompa yağını değiştirmek için, yedek atık yağdan önce boşaltılmalıdır, bir kez değiştirmek için en az üç ay ila altı ay arasında bir süre kullanın.

4. Kabloları talimatlara göre bağlayın.

5, mekanik pompa durdurma giriş vanasını kapatmak için çalışmadan önce, daha sonra elektrik kesintisi ve hava valfini, pompa içine hava girişi yoluyla açın.

Şekil 6'da görüldüğü gibi, pompanın çalışması sırasında, yağ sıcaklığı 75 dereceyi geçemez, aksi halde yağın viskozitesi çok küçüktür ve gevşek sızdırmazlığa neden olur.

7, veya mekanik pompa kayışının gerginliğini, motor hızını, kök pompa motorunun hızını ve sızdırmazlık halkası sızdırmazlık etkisini kontrol edin.

Yağ difüzyon pompası: mekanik pompanın limit vakumu sadece 10-2 pa'dır, 10-1 pa'ya ulaşırken, gerçek pompalama hızı teorinin sadece 1 / 10'u kadardır, yüksek vakum elde etmek istiyorsanız, yağ difüzyonu kullanmalısınız pompalamak.

Yağ difüzyon pompası yüksek vakum elde etmek için kullanılan ilk pompa olduğundan, ucuz, bakımı kolay ve yaygın şekilde kullanılır, bu nedenle bu çalışma tartışmaya odaklanacaktır.

Yağ difüzyonu pompası uygulama basınç aralığı 10-1 -10-7 pa, egzoz gazı difüzyon fenomeninin kullanımı, basit bir yapıya sahip, kullanımı kolay, pompalama hızı büyük (en yüksek 10 + 5 l'ye ulaşabilir) / s) ve diğer özellikler. Yağ difüzyon pompası esas olarak pompa kabuğu, meme, saptırma borusu ve ısıtıcıdan oluşur. Yağ difüzyon pompası (Japonya'da d-704 #) esas olarak içeriye eklenir. Memelerin sayısına göre, tek kademeli pompa ve çok kademeli pompaya ayrılabilir.

Difüzyon pompasının dibinde difüzyon pompasının yağı depolanır. Üst kısım hava girişidir ve sağ taraftaki alt kısım hava çıkışıdır. İşlem sırasında, hava çıkışı mekanik pompa tarafından edat basıncı ile ve edat pompa olarak mekanik pompa ACTS ile sağlanır.

Difüzyon pompasının yağı, elektrikli fırın tarafından ısıtıldığında, üretilen yağ buharı, ön yükleme basıncını ve ön yükleme pompası olarak mekanik pompanın ACTS'sini sağlar. Difüzyon pompası yağı elektrikli fırın tarafından ısıtıldığında, yağ buharı boru nozülünden aşağıya yayılır. Mekanik pompanın nozül dışında sağladığı 1-10-1 pa vakum bulunduğundan, yağ buharı, hava çıkışı yönünde bir jet akışı oluşturarak belirli bir mesafe için dışarı atılabilir. Son olarak, jet soğutma suyu ile soğutulan pompa duvarını karşılar, sıvıya yoğunlaşır ve tekrar buharlaştırıcıya akar, yani havanın çıkarılmasını sağlamak için tekrar tekrar buharlaşır, jetler, yoğunlaşır ve sirküle eder.

Pompanın içine giren hava girişindeki gaz molekülleri bir kez buhar akışına düştüğünde, yüksek hızda (200 m / sn) yüksek jet, yüksek buhar yoğunluğu ve yüksek moleküler ağırlıklı (300-500) olan difüzyon pompası yağı, etkili bir şekilde gaz moleküllerini alabilir, böylece jet arayüzü içinde, gaz molekülleri uzun bir süre boyunca mahsur olamaz ve jet ara yüzün her iki tarafında da akar. duman gazı konsantrasyonu çok kötüdür, çünkü duman gazı difüzyonu içindeki jetiğe etki mekanizması arasındaki bu konsantrasyon farkından dolayı, çıkışa ve çıkışta mekanik pompa tarafından alınmıştır.

Difüzyon pompasının yağ buharı basıncı, pompanın nihai vakumunu belirlemek için önemli bir faktördür.

Difüzyon pompası tek başına pompalamak için kullanılamaz, pompanın maksimum çıkış basıncının genel gereksinimleri 40 pa'dır. Nozülün birinci seviyesi ve giriş çapına sahip pompa gövdesi için difüzyon pompası pompalama zaferi planlanır, pompalama hızı arasındaki dairesel alanın boyutu sabit bir değer değildir, ancak 2 ~ 10'da basınç uygulandığında hava giriş basıncıyla değişir -10-3, basınç 5 * 10-4 mpa'dan az olduğunda difüzyon pompası emme hızı en düşüktür, difüzyon pompası emme hızı minimumdur, neredeyse hiç emme kapasitesi yoktur (bu noktada, giriş basıncı, çünkü yüksek hava yoğunluğu, buhar manifoldunu hava difüzyonunu engellemek için yüksek hızlı bir jet haline getirir, böylece pompalama hızı düşer).

Difüzyon pompası kurulumdan önce temizlenmelidir ve ardından difüzyon yağı yüklenebilir. Yağ ısıtılmadan önce, pompa önce vakumlanmalı ve difüzyon pompası yağı, makine kapatılmadan önce 60 ila 70 ° C'ye soğutulmalıdır. Daha sonra ön kademe egzoz gazı kapatılabilir ve son olarak soğutma suyu kapatılabilir.

Yağ difüzyon pompası, yağ geri dönüşü için bir son veremediğinden, özellikle yarı iletken endüstrisinde% 100 saf hassas ürünler garanti etmenin bir yolu yoktur, bu nedenle "yüksek vakumlu yoğuşma pompası + düşük vakumlu mekanik pompa" yoktur. sadece egzoz verimliliğinden oluşan yoğuşma pompası egzoz sisteminden oluşan yağsız vakum sistemi, çok yüksektir ve etkili bir şekilde vakum odasının temizliğini garanti eder, ürünün kalitesini garantiler (kirli ürünleri önlemek için, kaplamalar arasındaki yapışmayı arttırır) ve substrat), ancak bakım maliyetleri çok yüksektir, pahalıdır, bu nedenle penetrasyonda yaygın bir şekilde yağ difüzyon pompası yoktur.

Düşük sıcaklık yoğuşma pompası: Pompalamayı gerçekleştirmek için düşük sıcaklık yüzeyindeki gaz moleküllerini yoğunlaştıran bir pompa türüdür.

Yoğuşma pompasının çalışma prensibi: esas olarak yoğuşma, soğuk sıkışma ve düşük sıcaklık yüzeyindeki gazın fiziksel düşük sıcaklık adsorpsiyonudur.

Kriyojenik yoğuşma: Sıvı helyum veya soğutma çevrimi helyum, çeşitli gazların özelliklerine göre soğutma için kullanılır.

Soğuk tuzak: yoğunlaşamayan gazın yoğunlaşabilir gaz tarafından yakalanması olgusu. Genellikle, karbondioksit, su buharı, azot ve sıkıştırılmış gaz gibi gazlar ilk önce don oluşturur ve daha sonra diğer gazları adsorbe etme amacına ulaşmak için düşük sıcaklık yüzeyinde bir adsorpsiyon tabakası oluşturur. Bu nedenle, kriyojenik pompanın karışık gazın uzaklaştırılmasındaki etkisinin tek gazdan daha iyi olmasının nedeni budur.

Düşük sıcaklık adsorpsiyonu: Düşük sıcaklık yüzeyinde adsorban tarafından gazın adsorpsiyonunu ifade eder. Adsorban ve gaz molekülleri arasındaki güçlü etkileşime bağlı olarak, buhar basıncı, yoğuşma yüzey sıcaklığındaki doyma buhar basıncından daha düşük olabilir. Adsorban genellikle aktif karbondur.

Yoğuşma pompasının pompalama hızı ve yoğuşma pompasını etkileyen pompalama oranı yoğuşma yüzey alanının büyüklüğü ile ilgilidir. Verilere göre, yoğunlaşan yüzey alanının birimi başına pompalama hızı 11,6 l / s'dir. Ek olarak, adsorpsiyon yüzey geometrisi ve aktif karbonun konumu, aktif karbon parçacık yapısı, bağlama malzemeleri ve bağlama işlemi, pompalama hızı üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. İkincisi, anahtar, buzdolabının soğutma kapasitesinin yeterince büyük olmasıdır .

Vakum göstergesi: Vakum göstergesi vakum kaplama makinesinin önemli bir parçasıdır, kaplama makinesinin vakum derecesini test etmenin önemli bir yoludur. Vakum göstergesi mutlak vakum göstergesine ve çalışma prensibine göre ilgili vakum göstergesine bölünebilir. Mutlak vakum göstergesi doğrudan basınç seviyesini ölçebilirken, nispi vakum göstergesi yalnızca vakum derecesini dolaylı olarak ölçebilir.

Bu kağıt esas olarak, kaplama makinesinde yaygın olarak kullanılan aşağıdaki vakum göstergelerini tanıtmaktadır:

Dirençli vakum ölçer (ayrıca pirani vakum ölçer olarak da bilinir):

Ağırlıklı olarak düşük basınca dayanan elektrikli ısıtma teli, kabuk ve braketten oluşur, gazın ısı iletkenliği çalışma yolunun basıncı ile orantılıdır. Yukarıdaki açıklık, test edilen vakum sistemine bağlıdır. Sıcak tel, yüksek sıcaklık katsayısı direncine sahip metal telden yapılmıştır. İki destek kablosu ölçüm hattına bağlanır. Basınç düştüğünde, gaz ısı iletimi sırasında kaybedilen ısı azalır. Bu nedenle, sıcak kablonun ısıtma akımı kararlı olduğunda, sıcak kablonun sıcaklığı artar ve sıcak kablonun direnci artar. Sıcak telin direnci ölçülerek basınç dolaylı olarak ölçülür.

Bu, dirençli vakum göstergesinin çalışma prensibidir, vakum ölçer ölçüm aralığı: 100-10-1 mpa arasında, şu anda kullanılan WP - 02 modelleridir .

Manyetik kontrollü boşaltma vakum göstergesi:

Nasıl çalışır: boşalmanın başlangıcında, boşluk nedeniyle, ortogonal elektromanyetik alanın etkisi altında anot hareketinden serbest elektronlar, elektron yörüngesi düz çizgi değil, spiraldir ve anot kare olduğu için ilk kez anotla karşılaşılmadı, ancak anot aracılığıyla ve katot tarafından reddedildi ve geri döndükten sonra. Bu anot üzerinde birçok kez tekrarlanabilir. Elektron yolu büyük ölçüde uzadıkça, çarpışan ve iyonlaşan moleküllerin sayısı artar, böylece deşarj (penleme deşarjı olarak da adlandırılır) nispeten düşük bir basınçta (10-4 pa'nın altında) tutulur.

Şu anda, daha fazla model PKR251 ve gi-pary'i içermektedir.

Boşaltma borusu vakum göstergesi: iki metal elektrot cam borunun içine kapatılır ve üzerine birkaç bin voltluk yüksek bir DC gerilimi eklenir. Kendi kendine devam eden deşarj, belli bir basınç aralığında (1 * 10-3 ~ 2 * 10 parantez) ortaya çıkabilir. Vakum derecesi, deşarj rengi ile belirlenebilir.

Şimdiye kadar bu tür vakum ölçeri büyük hata, kolay hasar ve kısa ömür nedeniyle nadiren kullanılmaktadır.

3. Buharlaşma sistemi

Buharlaşma sistemi temel olarak film oluşturma cihazını ifade eder. Kaplama makinesinde, dirençli ısıtma, elektron tabancası buharlaşması, magnetron püskürtme, rf püskürtme, iyon kaplama vb. Dahil olmak üzere birçok film oluşturma cihazı vardır. Bu iki yöntemi kullandığım için iki dirençli ısıtma ve elektron tabancası buharlaştırma yöntemini tanıtacağım. Daha.

Yapısına ve çalışma prensibine göre, dirençli buharlaşma bugüne kadar en yaygın kullanılan buharlaştırma yöntemi ve aynı zamanda en uzun uygulama süresine sahip olanıdır. İşleyiş şekli, bir gemi olarak tungsten ve daha sonra iki elektrotun ortasına, tungsten teknesinin ortasına, otlar ile, yine yavaş yavaş, tungsten, tungsten teknesi elektrikli ısıtma yoluyla akan elektrot akımının ortasına yerleştirilmiş olmasıdır. Düşük voltaj, yüksek akım, tungsten teknenin ısı miktarı, kaplama malzemesinin erime noktasından, malzeme süblime veya buharlaşmadan daha yüksek olduğunda, tungsten teknenin ısı, yüksek erime noktası ve kaplama malzemesine ısı transferi yapmasını sağlar; kolay kullanım, basit yapı, düşük maliyet, çok sayıda ekipman kullanılır, ancak düşük film nedeniyle ince filmin buharlaşması, artı malzemenin buharlaşma için bu şekilde kullanılamaması nedeniyle, bazı sınırlamaları vardır. Tungsten tekne buharlaşma kaplama malzemesi, malzeme erime noktası, tungsten teknenin erime noktasından daha az olmalıdır, aksi takdirde gerçekleştirmenin bir yolu yoktur.

Elektron tabancası buharlaşması şu ana kadar en yaygın kullanılan buharlaşma yöntemidir. Her türlü kaplama malzemesini buharlaştırabilir. Çalışma şekli: Pota içerisindeki kaplama malzemesi, özel bir kontrol dolabı kullanılarak, filament şeklinde buharlaşma kaynağında, güçlü bir akıma sahip olan filament, yüksek voltaj, malzeme nedeniyle tungsten filamenttir, bu nedenle son elektroniği başlatacak ve belirli bir manyetik alanın benimsenmesi belirli bir şekle toplanacak ve pota üzerine çizim yapılması, böylece elektron sıcaklığının çok yüksek olması nedeniyle bir kaplama oluşturdu, kaplama malzemeleri olarak herhangi bir kaplama malzemesini eritebilir elektron ışını erimesinden sonra (malzemenin bir kısmı doğrudan yüceltilir), bir vakumda moleküllerin (atomlar veya iyonlar) şifalı otları doğrusal hareket halindedir, daha sonra taban tahtası ile buluşur ve daha sonra yoğunlaşır, ! En yaygın kullanılan, elektron ışınının açısını 270 dereceye, veya e çizgisinin elektron tabancasına veya 180 derecelik yörüngeli elektron ışınının yörüngeli elektron tabancasına ve yörüngenin bulunduğu c tipi elektron tabancasının c.

Elektron ışını buharlaşmasının en büyük avantajı: elektron ışınının yeri irade ayarlanabilir, filament gizlenebilir, kirlenmeyi önleyebilir, herhangi bir kaplama malzemesini buharlaştırabilir, kolay bakım, buharlaşma hızı irade kontrol edilebilir, küçük malzeme ayrışması , yüksek film yoğunluğu. İyi mekanik dayanım .

Püskürtme yöntemi, hedef malzemenin yüzeyini yüksek hızlı pozitif iyonlarla bombalamaktır. Kinetik enerji iletimi yoluyla, hedef malzemenin molekülleri (hedef atomun yüzeyinden kaçmak için yeterli enerjiye sahiptir ve daha sonra bir film oluşturmak için ürünün yüzeyinde pıhtılaşır).

Püskürtme yöntemiyle yatırılan film, güçlü bir yapışmaya ve yüksek saflığa sahiptir ve aynı anda çeşitli farklı malzemeleri püskürtebilir. Ancak, hedef malzeme için yüksek gereksinimleri vardır ve elektron tabancası gibi kaynakları koruyamaz.

Günümüzde, magnetron püskürtme en yaygın kullanılan yöntemdir. Magnetron sıçraması, katod yüzeyine paralel gelişmiş bir elektrik alanı uygulamak ve iyonlaşma verimliliğini arttırmak için elektronları katot hedef yüzeyinin yakınında tutmaktır. Bu en basit operasyon türüdür, bu yüzden yaygın olarak kullanılmaktadır.

4. Film oluşturma kontrol sistemi

Şu anda, görsel izleme, sabit değer izleme, kristal salınım izleme, zaman izleme vb. Gibi birçok film izleme yöntemi vardır. Temel olarak görsel izleme, sabit (aşırı) izleme ve kristal salınımını izleme üçünü tanıtıyorum.

Doğrudan izleme olarak da bilinen görsel izleme, göz izleme kullanımıdır, çünkü girişimdeki fenomen nedeniyle büyüme sürecindeki film, renk değişikliklerine sahip olacaktır, filmin kalınlığını kontrol etmek için renk değişikliklerine dayanırız. yöntem belli bir hataya sahip, bu yüzden çok doğru değil, deneyime güvenmemiz gerekiyor.

Sabit değer (aşırı değer) izleme: temel olarak yansıma tipini (türüne göre) optik izlemeyi kullanır. Aşırı değer izleme yöntemi: Film kalınlığı arttığında, yansıma ve penetrasyon oranı değişimi takip eder, yansıma veya penetrasyon hızı aşırı noktaya geldiğinde ND'nin kaplama optik kalınlığının izleme dalga boyunun dörtte biri olduğunu biliriz ( içine) tamsayı süreleri. Bununla birlikte, aşırı değer yönteminin hatası göreceli olarak büyüktür, çünkü yansıtıcılık ya da geçirgenlik aşırı değere çok yakın bir şekilde değiştiğinde, yani, ND'nin kalınlığı çok artar, R / T değişir. Daha hassas konum dalga boyunun sekizde birinde.

Sabit değer izleme yöntemi: bu yöntem, dalga boyunun çeyrek dalga seviyesini izlememek için durdurma kaplama noktasını kullanır ve daha sonra bilgisayar, toplam kaplama kalınlığının yansıma değerini (veya penetrasyon oranını), durma kaplaması olarak hesaplar. puan.

Kristal salınımının izlenmesi:

Kristal salınımının çalışma prensibi, kuvars kristalinin titreşim frekansının kütlesi ile ters orantılı olmasıdır. Bununla birlikte, kuvars izlemenin dezavantajlarından biri, film kalınlığı belirli bir kalınlığa yükseldiğinde, titreşim frekansının tamamen kuvarsın özelliklerinden kaynaklanmaması, bu nedenle kalınlık ve frekans arasında doğrusal bir ilişki olmasıdır.

Çeşitli izleme yöntemlerinin kendi avantajları ve dezavantajları vardır, ancak genellikle çok katmanlı kaplama, optik izleme yardımcı bir yöntem olarak ana, kuvars kristal salınımı olacaktır.

Ek olarak, kaplama işleminde bazılarının gaz akış kontrol ölçer veya basınç kontrol ölçer ile doldurulması gerektiğinden, bunların kontrol edilmesi için karmaşık valfler ve fotoelektrik algılama sistemi kullanmaları gerekir.

Kaplama işleminde ayrıca döner kontrol sistemine ihtiyaç duyulur, şemsiyenin ana milini yatak içine koymak ve sonra yatağı sürmek için motoru kullanmak, böylece şemsiyenin dönmesi için. Ardından, PLC döner hızını kontrol eder.

Pota dönüşü elektrik motoru tarafından sürülür, fotoelektrik indüksiyon sayma yöntemi uygulanır ve koruma plakası pnömatik anahtarla döndürülür.

Ekstraksiyon oranını hızlandırmak ve belli bir dereceye kadar vakum elde etmek için, vakum odasının da soğutulması gerekir, yani, vakum odasının içindeki havanın -130 santigrat dereceye kadar dondurulması ve vakum odasının içindeki su havasının dondurulması gerekir. donmuş ve dışarı pompalanmış.

PLC otomatik kontrol, makalenin elektriksel kontrol bölümü önceden PLC giriş tasarım programında ilk, operasyon panelindeki boş sisteme bağlı işlemci ana devresi, operasyon panelindeki düğmeye basıldığında, merkeze bilgi aktarımı işlem birimi (CPU) ve daha sonra merkezi kontrol sistemi tarafından analiz edilir ve işlemleri şubenin verdiği talimatlarla uygular ve tamamlar.

Kaplama makinesi ekipmanın çok disiplini olan BT, endüstrinin en gelişmiş mekanik ve elektronik teknolojisi, kontrol teknolojisi, elektrik otomasyonu, BT teknolojisi, soğutma teknolojisi, mikro devreli entegre sistemler, yüksek basınç kontrol sistemi, mekanik teknoloji, işleme teknolojisi, fotoelektrik teknoloji ile bütünleşmektedir. , optik teknolojisi, pnömatik kontrol teknolojisi, fotoelektrik sensör teknolojisi, iletişim teknolojisi, vakum teknolojisi, optik film ve kaplama teknolojisi, vb.

Kaplama makinesinin sektörün yeni bir temsilcisi olduğu söylenebilir.

Günümüzde, kaplama makinesi yaygın olarak kullanılmaktadır, özellikle kaplama filmi, fotoelektrik sisteme ve dijital kameralar, dijital kameralar, dürbünler, projektör, enerji kontrolü, optik iletişim gibi optik aletlere çeşitli ince filmlerin üretimi uygulanmıştır. ekran teknolojisi, interferometre, uydu füzeleri, yarı iletken lazer, mems, bilgi endüstrisi, lazer üretimi, her türlü filtre, aydınlatma endüstrisi, sensörler, mimari cam, otomotiv endüstrisi, dekorasyon, PARALAR, gözlük vb. İnsan hayatı ile yakından bağlantılı.

İthal edilen bir kaplama makinesinin maliyeti genellikle 3 milyon ila 10 milyon RMB'ye ulaşmaktadır ve yerli ekipmanın maliyeti yaklaşık 1 milyon RMB'dir.

İks pvd, sunabilir aletler kaplama makinesi, dekoratif kaplama makinesi, optik kaplama makinesi, şimdi bizimle irtibata, iks.pvd@foxmail.com