Video moleküler pompanın çalışma prensibi şifresini çözer
Aug 06, 2019| Video moleküler pompanın çalışma prensibi şifresini çözer
https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html
Moleküler pompalar nasıl çalışır?
çalışma prensibi:
Moleküler pompanın pompa mekanizması, havayı çıkarmak için pompa odası hacminin değişmesine dayanan mekanik bir pompanınkinden farklıdır.
Moleküler pompa motor tarafından yüksek hızda dönmesi için tahrik edilir. Moleküler akış bölgesinde, gaz molekülleri yüksek hızlı bıçak yüzeyiyle çarpışır ve momentum gaz moleküllerine aktarılır, böylece gaz moleküllerinin bazıları sert gövde yüzeyi yönünde hareket eder ve pompanın dışına atılır , hava tahliye amacına ulaşmak için. Genellikle gaz moleküllerini taşımak için sert gövde yüzeyinin yüksek hızlı hareketi ile ve çekiş moleküler pompası (gad pompası) olarak bilinen vakum pompasından yapılan bu fenomeni kullanarak moleküler çekiş olgusu olarak bilinen olgunun belirli bir yönünde hareket etmesini sağlar. Çekişli moleküler pompanın avantajı, başlangıç süresinin kısa olması, moleküler akış durumunda yüksek bir sıkıştırma oranına sahip olması, özellikle daha ağır gazların çıkarılması için uygun olan her türlü gaz ve buharı çıkarabilmesidir. Bununla birlikte, çekişli moleküler pompanın pompalama hızı düşük olduğundan, sızdırmazlık boşluğu çok küçüktür, iş güvenilirliği zayıftır, mekanik arızası kolaydır ve gerçekte nadiren imalat zorlukları vardır. Daha sonra, çekişli moleküler pompa geliştirildi ve turbo moleküler pompa ortaya çıktı.
Turbo moleküler pompa, çok sayıda değişken rotor bıçağı grubu ve sabit rotor bıçağı grubu içerir ve Şekil l'de gösterildiği gibi her bir bıçak üzerinde belirli bir Açıda birçok eğimli bıçak vardır. Gerçek turbo moleküler pompa çok kademeli bir kademeden oluşur, yani çalıştırma bıçağı, sabit bıçak ve hareketli bıçak dönüşümlü olarak düzenlenmiştir. Hareketli bıçaklar, bir yandan diğerine gaz pompalayarak döndüklerinde elektrikli fan kanatları gibi davranırlar. Moleküler pompanın hızının arttırılması, moleküler pompanın pompalama hızının arttırılmasında yararlıdır. Bıçağın hız sınırı nedeniyle, eğer gaz molekülleri daha hızlı hareket ederse, vakumu pompalamak daha zordur.
Turbo moleküler pompanın aynı zamanda bir tür mekanik vakum pompası olduğu görülebilir. Yüksek hızlı dönen çok aşamalı türbin rotor kanatlarının ve statik kanatların kombinasyonu, gerekli vakum performansını elde etmek için moleküler akış alanındaki çıkarılan gaz için yüksek bir sıkıştırma oranı üreten hava ekstraksiyonu için kullanılır. Türbomoleküler pompanın nihai vakumu, difüzyon pompasından 10 ± 8pa'ya kadar yüksektir. Normal işletimde, genel olarak 1 ila 200Pa arasında değişen, pompaya bağlı olarak biraz değişen ön kademenin belirli bir vakum derecesi gerekir. Ön pompa olarak mekanik pompa kullanılabilir. Yüksek vakum ünitesi moleküler pompa ve mekanik pompadan oluşur. Turbo moleküler pompanın yüksek hızı nedeniyle, genellikle eğer motor varsa ve eğer güç kaynağı frekansı 300-400hz arasında ise kullanılır. Türbomoleküler pompalar genellikle su soğutmalıdır.
Bileşik moleküler pompa, iki tip pompanın avantajlarını bire birleştiren turbo moleküler pompa ve çekişli moleküler pompanın seri bir kombinasyonudur ve daha büyük pompalama hızıyla 10 ^ -6-1pa arasında geniş bir basınç aralığında olabilir ve pompanın çıkış basıncını büyük ölçüde artıran daha yüksek sıkıştırma oranı.
çalışma koşulları :
(1) rotor hızı 20000 r / dak'a ulaştı, bu nedenle moleküler pompanın başlangıç süresi nispeten uzundur.
(2) gaz moleküler akış durumundadır, bu nedenle ön kademeli pompayla donatılması gerekir. Genel olarak, döner kanatlı pompa ön aşama pompası olarak kullanılır.
Moleküler pompa özellikleri:
Yağlama yağlama moleküler pompası: Yağlama yağı miktarı azdır ve önceki aşamadaki vakum bölümünde , vakum odasının kirliliği azdır.
Gres yağlama moleküler pompası: Gres miktarı çok küçüktür, ön-aşamalı kuru pompa neredeyse hiç yağsız temiz bir vakum elde edebilir.
Tam manyetik süspansiyonlu moleküler pompa: yağlama gerektirmez, kuru pompada kullanılabilir, yağsız temiz ortam.
Diğer yaygın uygulamalar:
1. Analiz (kütle spektrometresi, elektron mikroskobu, vb.)
2. Yarı iletkenler (elektronik bileşenler, entegre devreler, esnek güneş pilleri vb.)
3. Optik / cam (termal koruma, yansıma önleyici, yansıma, optik filtre)
4. Kaplama (yüzey koruması, dekoratif boya, ekran, ekran)
5. Vakum metalurjisi (vakumlu fırın, vakumlu lehimleme, vakumlu sinterleme, vakumlu alaşım,)
6. Kaçak tespiti (vakum sistemi, araç yakıt deposu, hava yastığı)
7. Araştırma deneyleri (tıbbi manyetik rezonans görüntüleme, nükleer parçacık fiziği, füzyon araştırması, lazer uygulamaları ve daha fazlası)
8. Lamba üretim endüstrisi ve ilgili endüstriler
IKS PVD, kaplama makinesinde manyetik kaldırma turbo moleküler pompayı kullanır. PVD vakumlu kaplama makinesi hakkında daha fazla bilgi almak için bizimle iletişime geçin, iks.pvd @ foxmail.com
