Kitle akış ölçer
D07 - 7KM kitle akış metre kitle akış ölçer (MFC) oluşur üç temel cihazların giriş: akış sensoru, akış-splitter yan yol ve baskılı devre, bu doğru bir şekilde despites gaz birim dalgalanma sıcaklık değişiklikleri nedeniyle kütle akış oranları ölçer. MFC alanlarında yaygın olarak uygulanan...
- ürün tanıtımı
Giriş
Kitle akış ölçer (MFC) üç temel aygıtından oluşur: akış sensoru, akış-splitter yan yol ve baskılı devre, bu doğru bir şekilde despites gaz birim dalgalanma sıcaklık değişiklikleri nedeniyle kütle akış oranları ölçer. MFC yarı iletken ve IC imalat, özel malzeme bilimi, Kimya Sanayi, petrolic sanayi, ilaç sanayi, çevre koruma, araştırma, vb vakum sistemi alanlarında yaygın olarak uygulanır.
Tipik uygulama
Mikroelektronik proses ekipmanları difüzyon, oksidasyon, epitaxy, CVD, plazma, gravür, fışkırtması, iyon implantasyonu ve vakum ifade ekipmanları, fiber optik erime, mikro-reaksiyon gibi diğer alan gibi MFC, tipik uygulamaları ekipman, karıştırma ve eşleme gaz sistemi, kılcal damar akış kontrol sistemi, gaz Kromatograf ve analitik diğer enstrümanlar.
D07 - 7KM MFC yüksek hassasiyetli, uzun ömürlüdür, mükemmel tekrarlanabilirlik, hızlı cevap, yumuşak-başlangıç, iyi güvenilirlik, geniş çalışma basınç aralığı (yüksek basınç veya vakum durum iyi çalışma), kolay ve rahat kullanım avantajları vardır, vb. Her yerde gerekli ve otomatik kontrol gerçekleştirmek için bilgisayar ile bağlı yüklenebilir.
Belirtimi
Akış aralığı | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10) SLM |
Doğruluk | ±1.5%F.S |
Doğrusallık | ±1%F.S |
Tekrarlanabilirliği | ±0.2%F.S |
Tepki süresi | ≤4 sn |
Sıcaklık katsayısı | Sıfır: ≤±0.1%F.S./℃;Span: ≤±0.2%F.S./℃ |
Maksimum basıncı | 3MPa |
Çalışma sıcaklığı | 5℃ ~ 45℃ |
Malzeme mühürleme | Viton, neopren |
Ayar/çıkış sinyali | 0V ~ + 5.00V (Giriş empedansı > 100K, çıkış Current≤3ma) |
Güç kaynağı | + 15V 50mA -15V 50mA |
Elektrik bağlantısı | D alt 15 Pim Erkek |
Diferansiyel Basınç | < 0,01=""> |
Sızıntı oranı | 1 × 10-8atm•cc / sn o (1 × 10-9 Pa•m3/sn o) |
Standart ortak | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1/8 ", φ4 (iç) × 1 hortum Coupler, VCR1/4", Swagelok1/4", φ6 (iç) × 1 Hortum Girişli |
Medya | Bütün gaz |
EMI | CE |
Ağırlık | 0,92 kg |
Yükleme boyutu
