Düşük Basınç ΠMFC Kütle Akış Denetleyicisi - PFC-20
PFC-20, Düşük Basınçlı πMFC kütle akış kontrolörü Güvenli Teslimat Kaynağı gazlarının maksimum kullanımını sağlar. Düşük Basınç πMFC'nin uygulanması, kaynak gaz silindiri değişikliklerinin sıklığını azaltarak takım çalışma süresini arttırır. Düşük gazın hassas ve hassas kontrolünü sunar ...
- ürün tanıtımı
GİRİŞ
PFC-20, Düşük Basınçlı πMFC kütle akış kontrolörü Güvenli Teslimat Kaynağı gazlarının maksimum kullanımını sağlar. Düşük Basınç πMFC'nin uygulanması, kaynak gaz silindiri değişikliklerinin sıklığını azaltarak takım çalışma süresini arttırır. Geniş bir basınç aralığında düşük gaz akışlarının hassas ve hassas bir şekilde kontrol edilmesini sağlar ve 4 Torr kadar düşük kaynak gazı dağıtım basıncına sahiptir.
Bu πMFC, iyon implantasyon endüstrisine hizmet veren SDS ve VAC ® kaynak gazları için özel olarak tasarlanmış MKS ürünlerindeki en son üründür. Patentli valf ve sensör tasarımları, hızlı bir şekilde ayar noktası elde etme ve gaz akışını tekrar tekrar kontrol etme yeteneğini korurken, tüm akış koşulları için olağanüstü sıfır stabilite ve doğruluk sunar. Standart boyutlu MFC ayak izi ve kontrol I / O, kolay entegrasyon ve çalışma için mevcut gaz hatları ile uyumludur.
ÖZELLİKLER VE FAYDALARI
SD Daha yüksek takım çalışma süresi ve düşük işletme maliyeti ile sonuçlanan şişe değişikliklerini azaltan SDS kaynak gazı kullanımını maksimuma çıkarır
Implant İmplant kaynağı uygulamaları için optimize edilmiş parametreler kullanılarak azaltılmış gaz tüketimi sağlayan düşük gaz akışlarını tekrar tekrar kontrol eder.
Control Dijital kontrol döngüsü, proses çevrim süresinin en aza indirilmesi için ayar noktasına hızlı yanıt sağlar.
““ Sorun Bulunamadı ”nın azaltılmasıyla takım çalışma süresini artırır: MFC değiştirmeleri
- Kullanıcıların MFC'yi çıkarmadan MFC işlevlerini kontrol etmelerine olanak tanıyan yerleşik tanılama ve yazılım
Dahili Ethernet arabirimi aracılığıyla —E-tanılama işlemi sırasında performans parametrelerinin izlenmesine izin verir.
En yaygın MFC'ler için form Doğrudan form-fit-işlev değiştirme
Multi Çoklu gaz, çoklu menzil kabiliyeti ile stok maliyetlerini azaltır.
Interface Ethernet arayüzü ile kolay yapılandırma ve teşhis
- Standart web tarayıcısı kullanır - özel bir yazılım gerektirmez
- Uzak bilgisayar uygulamasını içerir
◆ Parlak dönebilen LED ekran, akış hızı, gaz tipi, tam ölçekli akış aralığı, sıcaklık ve Ethernet adresinin kolayca görüntülenmesini sağlar
BOYUTLU ÇİZİM VE PINOUT
ŞARTNAME
| performans | ||
| Tam Ölçekli Aralıklar (N 2 karşılığı) | 2–20 sccm | |
| Giriş basınç aralığı | 4 - 1200 Torr (çıkışta vakumlu) | |
| Normal Çalışma Basıncı Diferansiyel (N 2 eşdeğeri) | FS akışında <10 torr="" (çıkışta="" vakum=""> | |
| Maksimum Boşaltma Basıncı | 150 psig | |
| Patlama basıncı | 1500 psig | |
| Kontrol aralığı | FS'nin% 2 ila% 100'ü | |
| Tipik doğruluk | >% 10 ila% 100 FS için ayar noktasının ±% 1'i FS'nin% 2 ila% 10’u FS’nin% 0,2’si Giriş basınçlarında> 20 Torr | |
| Tekrarlanabilirlik | FS’nin% 0.2’si | |
| çözüm | % 0.1 Okuma | |
Sıcaklık katsayılar | Sıfır | ±% 0.08 FS / ° C |
| karış | ±% 0.08 Rdg / ° C | |
Kontrolör Yerleştirme Süresi (Yarı Kılavuz E17-0600'e göre) | <2> Giriş basınçlarında> 10 Torr'da% 10'un üzerinde tipik | |
Isınma süresi (istikrarlı hal performansının % 0,2'si içinde ) | <30> | |
| Normal Çalışma Sıcaklığı | 10 ila 50 ° C | |
| Depolama nem | % 0 ila 95 Bağıl Nem, yoğunlaşma yok | |
| Depolama sıcaklığı | -20 ila 65 ° C | |
| Sıcaklık göstergesi | 0 ila 100 ° C | |
| Sıcaklık Okuma Üniteleri | ° C | |
| Sıcaklık doğruluğu | ± 2 ° C | |
| Sıcaklık Çözünürlüğü | 0.1 ° C | |
| Mekanik | ||
| Parçaları | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| Görüntüle | Değer için 4 basamak, birim için 4 karakter | |
| Sızıntı Bütünlüğü | Dış (scc / sn O) | <1x10> |
| Kapalı Vana ile | 25 psig'de FS'nin% 1.0'ı atmosfere | |
Islanan Malzemeler Standart | 316 SS VAR (yarı iletken kalitesi için 316 SS SCQ'ya eşdeğer), 316 SS, Elgilöy, KM-45, NiTi | |
| Yüzey | 5 microinch ortalama Ra | |
| Ağırlık | 2 lbs'den az. (0,9 kg) | |
| Elektrik | ||
| Konektörler | Analog (güç ve I / O) | 9 pin D erkek veya 15 pin D erkek |
| Teşhis | Ethernet | |
| Giriş gerilimi | 15-24 VDC ±% 5 VDC @ 350mA pik, 250 mA sabit durum | |
| Nokta Komut Sinyali Ayarla | 0 ila 5 VDC | |
| Çıkış sinyali | 0 ila 5 VDC | |
Popüler Etiketler: düşük basınç πmfc kitle akış kontrol cihazı - pfc-20, Çin, üreticiler, tedarikçiler, satın almak, özelleştirilmiş, Çin malı
