Magnetron Sıçramasında Hedef Zehirlenme Nedir? Genel Etki Faktörleri ve Çözümleri Nelerdir?
Jun 11, 2018| 1. Hedef zehirlenme
Pozitif iyon birikimi
Hedef zehirlendiğinde, hedef yüzey üzerinde bir yalıtım filmi oluşur. Pozitif iyonlar katot hedef yüzeyine ulaştığında, yalıtkan tabakanın bariyeri nedeniyle doğrudan girilemez, ancak hedef yüzey üzerinde birikebilir. Böylece, soğuk alan, ark deşarj - ark aydınlatması kadar kolayca üretilir. Böylece katot püskürtmesi devam edemez.
◆ Anot kaybolur
Hedef zehirlendiğinde, topraklanmış vakum odasının duvarına bir yalıtım filmi de yerleştirilir. Anod'a ulaşan elektronlar anodu giremez ve kaybolmaz.
2. Hedef zehirlenmeyi etkileyen faktörler
Hedef zehirlenmeyi etkileyen faktörler, esas olarak reaktif gaz ve püskürtme gazının oranıdır. Aşırı reaksiyon gazı hedef zehirlenmeye neden olur. Reaktif püskürtme işlemi sürecinde, hedef yüzeydeki püskürtme kanalı bölgesi, reaksiyon ürünü tarafından kaplanır veya reaksiyon ürünü, alım satımını gerçekleştiren ve geri dönen metal yüzeyi yeniden açığa çıkarmak için soyulur.
Bileşiğin oluşma hızı, bileşiğin soyulduğu orandan daha büyükse, bileşik tarafından kapsanan alan artar. Belirli bir güçte, bileşiklerin oluşumunda yer alan reaktan gaz miktarı artar ve bileşik oluşumu artar. Reaktan gazının miktarı aşırı artarsa, bileşik tarafından kaplanan alan artar.
Reaktan gazının akışı zaman içinde ayarlanamazsa, bileşik kapsama alanının artış hızı bastırılamaz ve püskürtme kanalı, bileşik tarafından tamamen kaplanacaksa, püskürtme kanalı, bileşik tarafından daha fazla kaplanacaktır. Hedef tamamen zehirlenmiş.
3. Hedef zehirlenmenin çözümü
Medium Orta frekans gücü veya RF gücü benimseyin.
Rea Reaktan gazı miktarını kontrol etmek için kapalı bir döngü benimseyin.
Twin ikiz hedefleri kullanın
Coating Kaplama modunun dönüşümünü kontrol edin: Kaplamadan önce, hedef zehirlenmenin histerezis etki eğrisini toplayın, giriş akışının hedef zehirlenmenin ön tarafında kontrol edilmesini sağlayın ve işlemin her zaman birikim hızının hızla düşmesinden önceki modda olmasını sağlayın.
