Vakum sisteminin tipik türü
Jun 30, 2018| Alma ve belirli gerekli vakum ölçme yeteneğine belirli işlem gereksinimlerini karşılamak için kullanılan sistem vakum sistemi denir. Daha tam bir vakum sistemi vakum odası, gerekli vakum pompası veya vakum, vakum ölçüm cihazı, bağlantı kanalı, vakum vanası, tuzak ve diğer vakum bileşenleri ve elektrik kontrol sistemi oluşur. Tipik vakum sistemi resim 1 ve Fig.2 gösterilir.
1. vakum odası taşma payı Vana2. iyonlaşma vakum ölçer 3. Isıl vakum ölçer 4. Akış düzenleyen vanası
5. yüksek vakum vanası6. difüzyon pompa 7. Gaz depolama tankı
8. ısıl ölçer (difüzyon pompa sahne basınç ölçer)9. destek Vana 10. Basınç sensörü
11. ön pompa vana12. kökleri vakum pompası 13. By-pass Vana 14. Elektromanyetik taşma payı Vana
15. mekanik vakum pompası
Tipik bir vakum sistemi resim 1 Şematik diyagramı
1. vakum odası2. iyonlaşma vakum ölçer 3. Isıl vakum ölçer 4. Deflasyon Vana
5. yüksek vakum vanası 6. 7 soğuk tuzak. Difüzyon pompa 8. Arka kapak 9. Elektromanyetik taşma payı Vana
10. mekanik vakum pompası11 ön pompa vana
Tipik bir vakum sistemi Fig.2 Şematik diyagramı