Vakum Ünitesinin Tip Seçimi
Jun 30, 2018| 1. Vakum Ünitelerinin Kompozisyonu ve Sınıflandırılması
Vakum ünitesi genellikle aşağıdaki bileşenlerden oluşur: çeşitli vakum pompaları, vakum ölçme cihazları, vakum valfleri, vakum boruları ve körükler, vakum bağlantıları, gaz depolama tankları, körükler, toz toplayıcılar ve vakum röleleri gibi diğer bazı bileşenler.
Ünitenin çalışma basıncına göre, kaba vakum üniteleri (> 1330Pa), düşük vakum üniteleri (1330 ~ 0.13Pa), yüksek vakum üniteleri (0.13 ~ 1.3x10-6Pa), ultra yüksek vakum üniteleri (1.3x10-6) ) ~ 1.3 × 10-11 Pa) ve çok yüksek vakum ünitesi (<1.2 ×="" 10-11="">
2. Düşük Vakum Ünitesi
Düşük vakum ünitesinin ana özellikleri, yüksek çalışma basıncı ve büyük yer değiştirmelerdir, ancak pompalama hızı yüksek vakum ünitesinden daha düşüktür. Vakum odası ve vakum deşarj üniteleri, vakumlu emprenye üniteleri, vakum filtre üniteleri, vakumlu gaz giderici üniteler, vakumlu kurutma üniteleri ve benzeri gibi yüksek çalışma basıncına ihtiyaç duyan bazı vakum üniteleri için çoğunlukla kullanılır. Düşük vakum ünitesinin ana pompaları yaygın olarak pistonlu pompalar, yağ keçesi vakum pompaları, su jeti pompaları, su buharı pompaları, su halkası pompaları, yağ buharlı jet pompaları, moleküler elek adsorpsiyon pompaları ve Roots pompalarıdır. Düşük vakumlu bir ünite kullanıldığında, toz toplayıcı ve kuru filtre gibi bileşenlerin, pompalanacak olan gazın temizlik derecesi ve neminin proses şartlarına göre yapılandırılması da gereklidir.
3. Yüksek Vakum Ünitesi
3.1 Ana pompayı seçin. Ana pompa difüzyon pompası, moleküler pompa, püskürtmeli iyon pompası, titanyum pompa, kriyojenik pompa ve benzeri olabilir.
3.2 Destek pompasını ve gaz depolama borusunu seçin (darbeye dayanıklı, çalışma döngüsünü kısaltın, vakum odasında büyük miktarda havalandırma olmasını engelleyin ve difüzyon pompasının çıkış basıncını sabitleyin)
4. Ultra Yüksek Vakum Ünitesi
Ana pompanın nihai vakumu yüksektir, sızıntı oranı düşüktür ve 200-450 ° C'de fırınlamaya dayanıklıdır.
4.1 Difüzyon pompa ünitesi: geri akışı azaltın ve kirliliği kontrol edin.
4.2 Moleküler pompa ünitesi: Hidrojene sıkıştırma oranı küçüktür ve artık gaz esas olarak hidrojendir.
4.3 Sputter iyon pompa ünitesi: Genellikle bir titanyum pompasıyla birlikte kullanılır.
4.4 Kriyojenik pompa ünitesi: kirlilik yok.