PECVD-RF Güç Kaynağının Çalışma Frekansı

Rf PECVD genellikle yüksek frekanslı, plazmadaki iyonların güçlü bombardıman etkisine, daha yoğun birikmiş filme sahip 50kHz~13.56MHz frekans bandı RF güç kaynağını kullanır, ancak alt tabakaya verilen hasar da nispeten büyüktür. Filmin yüksek frekans biriktirme ile tekdüzeliği, düşük frekanstan önemli ölçüde daha iyidir, çünkü RF güç kaynağının frekansı düşük olduğunda, plakanın kenarına yakın elektrik alanı zayıftır ve biriktirme hızı daha düşük olacaktır. plakanın merkez alanından daha fazladır ve frekans yüksek olduğunda kenar ile merkez alan arasındaki fark daha küçük olacaktır.

İKS PVD firmasına dekoratif kaplama makinası, alet kaplama makinası, DLC kaplama makinası, optik kaplama makinası, PVD vakum kaplama hattı, anahtar teslim projelendirme mevcuttur. Şimdi bize ulaşın, E-posta: iks.pvd@foxmail.com