PECVD ekipmanı ortak sorunları-Reaksiyon odasının basıncı kararsız

PECVD ekipmanı ortak sorunları-Reaksiyon odasının basıncı kararsız

(1) Ekipmanın vakum sisteminin körüklerinde çatlak olup olmadığını kontrol edin.

(2) Gaz akış ölçerin normal olup olmadığını kontrol edin.

(3) Kelebek vana anahtarının normal olup olmadığını manuel olarak kontrol edin.

(4) Vakum pompası anormaldir ve vakum pompasının pompalama hızının normal olup olmadığını ölçmek için vakum ölçer kullanılır.

İKS PVD firmasına dekoratif kaplama makinası, alet kaplama makinası, DLC kaplama makinası, optik kaplama makinası, PVD vakum kaplama hattı, anahtar teslim projelendirme mevcuttur. Şimdi bize ulaşın, E-posta: iks.pvd@foxmail.com