Sıcak Katot İyonizasyon Vakum Ölçer Ölçüm Aralığı

Sıcak katot iyonizasyon vakum ölçerin ölçüm aralığı 10-2~10-11mbar'a ulaşabilse de, basınç çok yüksek olduğunda parçacık akışı ile basınç arasındaki ilişki doğrusaldan sapacak ve doyma eğiliminde olacaktır. Ölçüm aralığını genişletmek amacıyla genellikle pompanın başlangıç ​​noktasında (aşırı basınç durumunda) Pirani vakum ölçer kullanılır.

Ek olarak, sıradan sıcak katot iyonizasyonlu vakum ölçerlerin alt ölçüm limiti büyüklük sırasına göre yaklaşık 10-6Pa'dır: Geçit anodu elektronlarla bombardıman edildiğinde, yumuşak X-ışınları üretilir ve iyon iyonlaştığında fotoelektron emisyonu meydana gelir. toplayıcı bu ışını alır. Toplayıcı tarafından yayılan foton topladığı iyonlara eşdeğer olduğundan, iyon toplayıcı devresinde basınçtan bağımsız bir arka plan foto akımı oluşur ve bu, ölçüldüğünde yaklaşık 10-6Pa'lık bir basınç okumasıyla temsil edilir. Arka plan fotoakımının etkisini ortadan kaldırmak ve sıcak katot iyonizasyon vakum ölçerin ölçüm limitini genişletmek için, BA iyonizasyon vakum ölçer (ölçüm sınırı 10-8Pa'ya ulaşabilir), baskılayıcı vakum ölçer (teorik olarak {{6}'a ulaşabilir) }Pa), modüle edilmiş vakum ölçer (10-10Pa), ayrılmış vakum ölçer (10-11Pa) vb.

İKS PVD firmasının dekoratif kaplama makinası, kalıp kaplama makinası, DLC kaplama makinası, optik kaplama makinası, PVD vakum kaplama hattının anahtar teslimi projesi mevcuttur. Şimdi bize ulaşın, E-posta: iks.pvd@foxmail.com