Magnetron Püskürtme Filmi'nin Ortak Sorun Giderme

Film gri ve karanlık

1. Vakum derecesi 0.67Pa'dan düşük. Vakum derecesi 0.13-0.4 Pa'ya yükseltilmelidir.

2. Argonun saflığı% 99.9'dan azdır. Plaese,% 99,99 saflıkta argon kullanmaktadır.

3. Şişme sistem sızıntıları. Enflasyon sistemi sızıntıları gidermek için kontrol edilmelidir.

4. Astar tamamen iyileşmez. Astarın sertleşme süresi uygun şekilde genişletilmelidir.

5. Kaplanmış parçadan çıkan gaz miktarı çok büyüktür. Oda kurutulmalı ve mühürlenmelidir.

Loş ve donuk yüzey

1. Püskürtme süresi çok uzun. Zaman uygun şekilde kısaltılmalıdır.

2. Sputtering ve film oluşturma hızı çok hızlı. Lütfen püskürtme akımını veya voltajı doğru şekilde azaltın.

Düzensiz renk kaplama

1. Film çok incedir. Lütfen püskürtme hızı veya püskürtme süresini arttırın.

2. İrrasyonel fikstür tasarımı. Fikstür tasarımı geliştirilmelidir.

3. Alt tabakanın geometrisi çok karmaşıktır. Lütfen alt tabakanın dönüş hızını uygun şekilde artırın.

Filmde kırışıklıklar veya çatlaklar var

1. Buharlaşma oranı çok hızlıdır. Düzgün yavaşlatılmalıdır.

2. Film çok kalın. Sıçrama süresi uygun şekilde kısaltılmalıdır.

3. Alt tabakanın sıcaklığı çok yüksek. Lütfen alt tabakanın ısıtma süresini kısaltın.

Film yüzeyi su izlerine, parmak izlerine ve kurum parçacıklarına sahiptir

1. Substrat temizlendikten sonra yeterince kurulamıyor. Ön kaplama tedavisi güçlendirilmelidir.

2. Alt tabakanın yüzeyi su veya tükürük ile sıçramaktadır. Operatörler maske takmalıdır.

Kötü yapışma

1. Kaplama parçalarının zayıf yağdan arındırılması. Ön kaplama tedavisi güçlendirilmelidir.

2. Vakum odası temiz değildir. Vakum odası temizlenmelidir. Yükleme ve boşaltma hedefleri sırasında, ellerin kullanılması veya diğer kirli nesnelerin magnetron kaynağına dokunmak kesinlikle yasaktır.

3. Fikstür temiz değildir. Fikstür temizlenmelidir.

4. Sputtering proses koşullarının uygunsuz kontrolü. Lütfen püskürtme işlemi koşullarını iyileştiriniz.