Önyargı Güç Kaynağı

Önyargı güç kaynağı

Önyargılı güç kaynağı hem çok arklı iyon hem de magnetron püskürtme kaplama teknolojisinde kullanılır. Sadece magnetron püskürtmenin iyonizasyon hızı çok arklı iyon kaplamanınkinden çok daha düşük olduğu için gerekli öngerilim güç kaynağının gücü daha küçüktür. Şu anda birçok cihaz hem magnetron püskürtme hedefleri hem de çok arklı hedeflerle donatılmıştır ve ön güç kaynağı gücünün seçimi, çok üniteli çalışmanın gereksinimlerine göre belirlenmelidir. İlk öngerilim voltajı esas olarak tristör teknolojisine sahip DC öngerilim güç kaynağıydı ve şimdi çoğunlukla yüksek frekanslı invertör teknolojisi ile üretilen tek kutuplu, DC üst üste bindirilmiş darbe ve iki kutuplu darbe öngerilim güç kaynağıdır. Öngerilim güç kaynağı esas olarak çok arklı iyon ve magnetron püskürtme kaplama, iyon bombardımanı ve kaplamalı iş parçasına öngerilim basıncı uygulamak ve kızdırma temizliği sırasında parlaklık üretmek için film biriktirme sürecinde kızdırma temizliği için kullanılır. İyonları hızlandırmak için kullanılan iyon bombardımanında, iş parçasının yüzeyine iyon bombardımanının enerjisini arttırmak, püskürtme temizleme efekti amacına ulaşmak ve film bağlama kuvvetini geliştirmek için, film biriktirmede ayrıca iyon enerjisini arttırmak için de kullanılır. , film büyümesini teşvik eder ve iyileştirir, aynı zamanda film bağlama kuvvetini de geliştirir, aşağıda öngerilim güç kaynağının birkaç ortak dalga biçimi vardır: tek kutuplu darbe öngerilim güç kaynağı ana özellikleri 1. Yüksek frekanslı tek kutuplu darbe öngerilim basıncı DC önyargı ile karşılaştırıldığında iş parçası, voltaj kesme boşluğu nedeniyle ateşleme sayısını etkili bir şekilde azaltabilir, iş parçasının yüzeyini koruyabilir. 2. Darbe aralığı sırasında, iş parçasının yüzeyinde biriken yük nötralize edilebilir, böylece yüzey yükünün birikmesinden kaynaklanan ateşleme azaltılabilir. 3. Yüksek frekanslı invertör teknolojisinin hızlı kapanma yeteneği, her kıvılcım tarafından salınan enerjiyi etkili bir şekilde azaltabilir, kıvılcım ortaya çıktığında bile iş parçası yüzeyindeki büyük hasarın derecesini önemli ölçüde azaltabilir. 4. Darbe aralığı sırasında iş parçası yüzeyine biriken iyon enerjisi çok düşüktür. 5. Film oluşturma hızı ve kalitesi, frekans ve görev döngüsü ayarlanarak iyileştirilebilir ve kontrol edilebilir. DC süperempoze darbe öngerilim güç kaynağının ana özellikleri 1. Tek kutuplu darbe öngerilim güç kaynağının tüm özelliklerine sahiptir. 2. DC ve DC üst üste bindirilmiş darbe modunda, tek kutuplu darbe aralıkları arasındaki düşük iyon enerjisi sorunu ortadan kaldırılır. Negatif darbenin işlevi, tek kutuplu darbe öngerilimli güç kaynağınınkiyle aynıdır ve pozitif darbenin işlevi, esas olarak, iş parçasının yüzeyindeki pozitif yük birikimini nötralize etmek için plazmadaki elektronları çekmektir. Elektronun kütlesi iyonunkinden çok daha küçük olduğundan, hızlanma kolaydır, dolayısıyla pozitif darbenin genliği negatif darbenin genliğinden çok daha küçüktür, genellikle 10 ~ 100V ve pozitif ve negatifin akım integrali darbeler eşit olmalıdır. Yani pozitif güç kaynağının gücü, negatif güç kaynağının gücünden çok daha azdır. 2. Pozitif besleme voltajı sıfır olduğunda, iki kutuplu darbe eğilimi, tek kutuplu darbe eğilimi haline gelir.

İKS PVD firmasında dekoratif kaplama makinası, takım kaplama makinası, DLC kaplama makinası, optik kaplama makinası, PVD vakum kaplama hattının anahtar teslimi projesi mevcuttur. Şimdi bize ulaşın, E-posta: iks.pvd@foxmail.com