Kriyojenik pompanın çalışma prensibi ve şematik diyagramı

Kriyojenik pompanın çalışma prensibi ve şematik diyagramı

Kriyojenik pompanın çalışma prensibi, aşırı düşük sıcaklık yüzeyindeki fiziksel adsorpsiyon ile gazı boşaltmaktır.

Kriyojenik pompa son derece yüksek vakum sağlayabilir (10-11 Pa) ve hızlı egzoz hızı, yağsız ve sınırsız montaj yönü avantajlarına sahiptir. Yapısı şekil 1'de gösterilmiştir .

İNCİR. 1 kriyojenik pompa yapısının şematik diyagramı

1 - ilk aşama soğutma masası; 2 - ikincil soğutma masası; 3 - kriyojenik örtü; 4 - koruyucu kapak; 5 - bölme

Kriyojenik pompanın ilk etabı soğuk tablasında blendaj kapağı ve bölme bulunur ve sıcaklık 80K'da tutulur. İkincil soğutma masası, düşük sıcaklıkta bir örtü ve aktifleştirilmiş karbon adsorbanının ayarlandığı 15K'da tutulur.

Su buharı 80K blendaj ve 80K bölme üzerinde katılaşır. Azot, oksijen ve argon 15K'lik bir kriyojenik maske üzerinde katılaşır. Hidrojen, helyum ve neon, 15K düşük sıcaklıktaki mahfazanın iç tarafındaki adsorban üzerine adsorbe edilir. Kriyojenik pompa tüm gazları tüketebilir, ancak çok fazla gaz emilirse, egzoz hızı düşer. Bu noktada, kriyojenik pompanın adsorbe edilmiş gazı serbest bırakmak ve tekrar kullanmak için ısıtılması gerekir.