Magnetron püskürtme prensibinde parlaklık birikme sinin özel süreci nedir Ar gazı iyonize nasıl
Apr 22, 2020| Magnetron püskürtme prensibinde parlaklık birikme sinin özel süreci nedir? Ar gazı iyonize nasıl yapılır?
Pozitif ve negatif elektrotlar arasında uygulanan gerilimin hareketi altında elektrotlar arasındaki gaz atomları iyonize edilecektir. İyonlaşma işleminde bazı Ar atomları Ar+ iyonları ve elektronlar halinde iyonize edilir. Elektronlar elektrik alanı tarafından anota doğru hızlandırılır ve pozitif yüklü Ar+ iyonları elektrik alanının etkisi altında katot hedefine doğru hızlanır ve hedef yüzeyle çarpışmada karşılık gelen enerjiyi serbest bırak. Belirli enerjiye sahip iyonların hedef üzerindeki etkisinin sonuçlarından biri, hedef yüzeydeki atomların belirli bir enerji kazanması ve hedef yüzeyi substrata doğru hareket etmek için bırakmasıdır. Püskürtme sürecinde, katot ikincil elektron emisyonu da dahil olmak üzere diğer eser parçacıklar vardır.
Bu bir gaz deşarjı, ve gerilim genellikle üst kilovolt. Ama magnetron fışkırtma farklı.
Magnetron püskürtme sırasında, hedefin yüzeyinde bir manyetik alan vardır, böylece elektronlar kaybolmadan hedefin etrafına bağlanabilir, kendi kendini idame ettiren bir deşarj fenomeni oluştururlar ve voltaj doğal olarak birkaç yüz volta düşer. Kendi kendini idame ettiren deşarj sırasında, argon iyonizasyonunun çoğu serbest elektron bombardımanına neden olur.
e- + Ar →Ar+ + 2e-
Eğer çevre koruma kaplama türü ilginç iseniz, şimdi bize ulaşın, E-posta:iks.pvd@foxmail.com,PVD vakum kaplama makinesi üretimi hakkında daha fazla bilgi-IKS PVD Teknoloji (Shenyang) Co, Ltd