çeşitli CVD ekipmanı türleri

Çeşitli CVD ekipmanı türleri vardır. Şu anda, PECVD ana akım teknolojidir ve pazar payının gelecekte daha da artması beklenmektedir. İnorganik malzemeleri hazırlamak için son yıllarda geliştirilen yeni bir teknoloji olan CVD, gaz halindeki veya buhar halindeki maddelerin katı çökeltiler oluşturmak için gaz fazı veya gaz-katı arayüzü üzerinde reaksiyona girdiği süreci ifade eder. Kimyasal buhar biriktirme (CVD), maddeleri saflaştırmak, yeni kristaller geliştirmek ve her türlü tek kristal, polikristal veya camsı inorganik ince film malzemelerini biriktirmek için yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu malzemeler, oksitler, sülfürler, nitrürler, karbürler veya III-V, II-IV ve IV-VI gruplarının ikili veya çok değişkenli ara element bileşikleri olabilir ve bunların fiziksel işlevleri, gaz fazı doping biriktirme işlemleriyle tam olarak kontrol edilebilir. CVD kaplama tekrarlanabilirliği ve adım kapsamı iyidir ve SiO2, Si3N4, PSG, BPSG, TEOS ve diğer orta filmlerin yanı sıra yarı iletken, metal (W), her türlü metal-organik bileşik film biriktirme için kullanılabilir. Hazne basıncına ve dış enerjiye göre kabaca APCVD, LPCVD, SACVD, PECVD, MOCVD ve diğer kategorilere ayrılabilen birçok CVD türü vardır. CVD ekipmanının reaksiyon kaynakları elde etmesi kolaydır, kaplama bileşenleri çeşitlidir ve ekipman nispeten basittir, özellikle karmaşık şekilli parçaların yüzeyi ve iç delik kaplaması için uygundur.

İKS PVD firmasına dekoratif kaplama makinası, alet kaplama makinası, DLC kaplama makinası, optik kaplama makinası, PVD vakum kaplama hattı, anahtar teslim projelendirme mevcuttur. Şimdi bize ulaşın, E-posta:iks.pvd@foxmail.com