PECVD'nin ana tortul süreci
Oct 18, 2024| PECVD'nin ana tortul süreci
Geleneksel AP-CVD ve LP-CVD ekipmanıyla karşılaştırıldığında PE-CVD ekipmanı, çip üretiminde ince film biriktirme işleminde en yaygın kullanılan ekipman türü haline geldi. CVD teknolojisi, farklı malzeme ve filmlerin hazırlanmasındaki esnekliği ve verimliliği nedeniyle birçok alanda önemli bir rol oynamaktadır. İnce film biriktirme: CVD, amorf silikon, polisilikon, silikon nitrür (Si3N4), silikon dioksit (SiO2) vb. gibi çeşitli ince filmleri biriktirmek için kullanılır. Ledler ve lazerler: CVD, ledlerdeki III-V yarı iletken malzemeleri üretmek için kullanılır ve galyum nitrür (GaN) ve galyum arsenit (GaAs) gibi lazerler. Fotovoltaik hücreler: Güneş pillerinin üretiminde CVD, fotoelektrik dönüşüm verimliliğini artırmak için silikon ince filmler ve çinko oksit (ZnO) vb. gibi ince filmleri biriktirmek için kullanılır. Aşınmaya dayanıklı kaplamalar: CVD, takımların, kalıpların ve mekanik parçaların aşınma direncini ve servis ömrünü artırmak amacıyla elmas ve kübik bor nitrür (c-BN) gibi süper sert kaplamaları kaplamak için kullanılır. Korozyona dayanıklı kaplamalar: CVD ile metal yüzeyleri korozyondan korumak için titanyum nitrür (TiN) ve titanyum karbür (TiC) gibi korozyona dayanıklı kaplamalar kaplanabilir. Yansıma önleyici kaplama: CVD, optik bileşenlerin yüzeyindeki yansımayı azaltmak ve optik performansı artırmak için yansıma önleyici kaplama hazırlamak için kullanılır. Filtreler ve dalga kılavuzları: Optik iletişimde CVD, sinyal iletim verimliliğini artırmak için filtreler ve dalga kılavuzları gibi cihazların üretiminde kullanılır. Biyouyumlu kaplamalar: CVD teknolojisi, biyouyumluluğu ve dayanıklılığı artırmak amacıyla titanyum nitrür ve zirkonya (ZrO2) gibi biyouyumlu kaplamaları tıbbi cihazların ve implantların yüzeyine biriktirmek için kullanılır. Mikroelektromekanik sistemler (MEMS): CVD, MEMS cihazlarında polisilikon ve silikon nitrür gibi yapısal malzemeler ve fonksiyonel filmler üretmek için kullanılır.
İKS PVD firmasında dekoratif kaplama makinası, takım kaplama makinası, DLC kaplama makinası, optik kaplama makinası, PVD vakum kaplama hattının anahtar teslimi projesi mevcuttur. Şimdi bize ulaşın, E-posta: iks.pvd@foxmail.com