Yoğuşma pompası, pompalama amacıyla düşük sıcaklıktaki bir yüzeydeki gazı yoğunlaştırmak için emilir

1) Yoğuşma pompası, pompalama amacıyla düşük sıcaklıktaki bir yüzeyde gazı yoğunlaştırmak üzere aspire edilir. Vakum odasında soğuk bir yüzey olduğunda, üzerinde hava çıkarım rolünü oynayabilen yoğunlaşma meydana gelecektir. Bu, kriyojenik yoğuşma pompasının ve kriyojenik soğuk tuzağın çalışma prensibidir. Doymuş buhar basıncı sıcaklık ile yakından ilişkilidir ve sıcaklık düştüğünde doymuş buhar basıncı düşer.

Tablo 1, atmosferin standart bileşimini göstermektedir. Şekil 1, çeşitli gazların doymuş buhar basıncının sıcaklık ilişkisi eğrisini göstermektedir. Şekil 1'den görülebileceği gibi, sıcaklık neon, hidrojen, helyum ve diğer yoğunlaşması zor gazlar hariç 20K'ye düştüğünde, havadaki diğer tüm bileşenlerin doymuş buhar basıncı 10-10 torr'dan düşüktür. Böylece, hava ile dolu hava geçirmez kap 20K'ye soğutulduğunda, vakum 1.2E-3 torr'a ulaşabilir. 4.2k'de sadece helyum kalmıştır ve vakum 5e-5torr'a kadardır. Yoğuşma pompasının soğuk yüzeyi genellikle yaklaşık 14-20 k'da seçilebilir ve pompalanan hidrojen, helyum ve diğer zor yoğuşma gazlarının miktarını büyük ölçüde azaltmak için kolay yoğuşma gazı ile yıkama veya diğer pompalarla vakumlama yöntemi benimsenir. sistemi. Çalışma sırasında sisteme sızan az miktarda zor yoğuşma gazı diğer pompalar tarafından da çıkarılabilir.

[tablo 1] standart atmosferik bileşim

[İNCİR. 1] çeşitli gazların doymuş buhar basıncının sıcaklık ilişkisi

IKS PVD, Çin'den vakum kaplama makinesi üreticisi, daha fazla detay, iletişim: iks.pvd@foxmail.com