Plazma Temizliği

Plazma temizleme, geleneksel temizleme yöntemlerinin elde edemeyeceği sonuçlara ulaşmak için plazma kullanmak anlamına gelir. Plazma, katı, sıvı ve gazın ortak üç haline ait olmayan maddenin dördüncü hali olarak da adlandırılan bir madde halidir. İyonize etmek için gaza yeterince enerji uygulamak, plazma halini alır.

Plazmanın "aktif" bileşenleri, iyonlar, elektronlar, atomlar, reaktif gruplar, uyarılmış halde nüklitler (metastaz durumu), fotonlar ve benzerleridir. Plazma temizliği, temizleme ve kaplamanın etkilerini elde etmek için bu aktif bileşenlerin özelliklerini kullanarak numunenin yüzeyini işlemden geçirmeyi ifade eder. İşlenecek parçanın yüzeyi, kimyasal madde veya fiziksel etki ile, kirletici maddenin moleküler seviyede uzaklaştırılması ve böylece iş parçasının yüzey aktivitesinin iyileştirilmesi için işlenir. Sökülen kirletici maddeler organik madde, epoksi reçine, fotorezist, oksit, mikro parçacıklı kirleticiler vb. Içerebilir, bu nedenle plazma temizliği bir çeşit yüksek hassasiyetli temizliktir. Farklı kirleticiler için farklı temizleme işlemleri kullanılmalıdır. Genel olarak konuşmak gerekirse, plazma temizliği seçilen proses gazına bağlı olarak kimyasal temizlik, fiziksel temizlik ve fiziksel kimyasal temizlik olarak sınıflandırılır.