Vakum ekipmanı egzoz teknolojisine genel bakış

Genel olarak vakum, vakum sisteminin pompalanmasıyla elde edilir. Gerekli vakum ve temizlik derecesine göre farklı vakum sistemleri kullanılmaktadır. Genel vakum sistemi, düşük ve orta vakumlu sistemler, yüksek vakumlu sistemler, yüksek vakumlu vakum sistemleri ve vakum derecesine dayalı aşırı yüksek vakum sistemlerine ayrılabilir.

Bu vakum sistemleri farklı ana pompalardan, yardımcı sistemlerden ve diğer ilgili vakum parçalarından oluşur. Orta ve düşük vakum sistemi, mekanik pompa veya mekanik pompa ve kök pompadan oluşur. Yağ kirlenmesini önlemek için, bir moleküler elek tuzağı da kurulabilir. Bununla birlikte, moleküler elek katı partikülleri operasyon sırasında mekanik pompaya emilmemelidir.

Yüksek vakum sistemi esas olarak difüzyon pompası, bölme plakası, soğuk tutucu, sürgülü vana, mekanik pompa ve diğer parçalardan oluşmaktadır. Ana pompa ayrıca turbo moleküler pompa veya bir kriyojenik pompa olabilir. Yağ kirliliğini daha da azaltmak için, bir püskürtmeli iyon pompası bir titanyum süblimasyon pompası ile birlikte ve düşük sıcaklıklı bir bölme ile birlikte kullanılabilir ve yağlama emiş pompası olan bir yağsız yüksek vakumlu emme birimi oluşturur.

Ultra yüksek ve son derece yüksek vakum sistemlerinin en önemli işareti, yüksek derecede temizliktir. Yüksek performanslı iyon pompaları, kriyojenik pompalar, turbo moleküler pompalar, soğuk tuzaklar ve diğer parçalar kullanılarak ultra yüksek ve aşırı yüksek vakum elde edilebilir.

Çeşitli vakum sistemlerinde bir arıza meydana geldiğinde, açma, kapatma, çalıştırma, kirlilikten korunma gibi önlemlerin hepsi sıkı bir şekilde karşılanmaktadır. Ve operatörler işletim prosedürlerine uymalıdır.

Örneğin, mekanik pompa sadece 15Pa-20Pa veya daha yüksek bir basıncı pompalayabilir, aksi takdirde geri akışın kirliliği ciddi olur. Difüzyon pompası, çalışmadan önce yağ buharının büyük bir kirliliğine ve durma çalışmasından sonra 20 dakika süresince vakum odasına veya soğuk tuzağa bağlanmamalıdır, bu nedenle soğuk tuzak vakum odasından izole edilmelidir ve nitrojen sonra kaldırıldı ve sıcaklık geri yüklendi, yüksek vakum pompası durdurulabilir. Adsorpsiyon pompası, tekrar ısıtmadan sonra kazaları önlemek için bir anti-basınç patlatma cihazı ile donatılmalıdır.

Vakum elde edilemiyorsa, öncelikle hava çıkarıcının düzgün çalışıp çalışmadığını kontrol etmek ve ikinci olarak, gaz serbest bırakma kaynağının erişilemez olup olmadığını kontrol etmek gereklidir. Şimdi, çok katmanlı ısı yalıtımı kriyojenik kabını alın Vakum parçaları, montajdan önce sıkı temizlik, kurutma ve kaçak tespitine maruz bırakılmalıdır. Ayrıca, çıkarılabilir parçanın sızdırmazlık halkasının temiz ve iyi olup olmadığını, sızdırmazlık yüzeyinin çizilip çizilmediğini veya bağlantının sıkı olup olmadığını kontrol etmek de gereklidir.