Önyargıların Tanıtımı
Feb 09, 2018| Öngerilim voltajı, kaplama işlemi sırasında alt tabakaya uygulanan negatif voltajı ifade eder. Öngerilim güç kaynağının pozitif terminali, vakum odası topraklanırken vakum odasına bağlıdır. Öngerilim geriliminin negatif ucu iş parçasına bağlıdır. Zemin voltajı genellikle sıfır potansiyel olarak kabul edildiğinden, iş parçasındaki voltaj negatif önyargı olarak adlandırılır, bu da önyargı olarak adlandırılır.
1. Negatif önyargı fonksiyonu
◆ Parçacık enerjisi sağlayın;
◆ Yüzey üzerinde ısıtma etkisi;
◆ Yüzeyde adsorbe edilen gaz ve yağlı kirin çıkarılması, filmin yapışma gücünü artırmak için yararlıdır;
◆ Yüzey yüzeyini etkinleştirin;
◆ Ark iyon kaplamasındaki büyük parçacıkların arındırma etkisi vardır.
2. Öngerilim voltajının sınıflandırılması
(1) Dalga şekline göre bölünebilir:
DC önyargı DC darbeli öngerilim
DC bindirmeli darbe önleme İki kutuplu darbe önyargı
(2) Güç kullanılırken yüksek gerilimi ve düşük gerilimi değiştirme ihtiyacına göre, aşağıdakilere ayrılabilir:
Anahtarlama yüksek gerilimi ve düşük voltajın güç çıkış diyagramı
Yüksek ve alçak gerilim kademesiz sürekli regülasyon çıkışını değiştirmeye gerek yok
Öngerilim güç kaynağı ayarlanabilir parametreleri: öngerilim genlik, görev oranı, frekans ve dalga formu.
3. Öngerilim güç kaynağının karakteristiği
◆ Dakikada yangın söndürme sayısı.
◆ Büyük yayların hassasiyetinin tespiti (mJ / kW algılanan ark enerjisi).
4. Yük eğrisinin yük karakteristiği
Önyargıya ait çalışma yükü plazma ve plazma DC bias kullanıldığında dirençlidir. Darbeli bir önyargı uygulandığında, plazma direnç + kapasitif gösterir ve bu direnç ve kondansatörlerin seri bağlantısı olarak düşünülebilir. Kapasitenin özü, substrat üzerindeki plazma kılıfından kaynaklanır.
