PECVD nasıl çalışır?
Apr 17, 2024| PECVD nasıl çalışır?
PECVD yöntemi, denge dışı plazmanın, yani plazma moleküllerinin, atomların, iyonların veya aktif grupların çevredeki ortamla aynı olması ve küçük kütlelerinden dolayı denge dışı elektronların özelliklerini kullanarak silikon nitrür ince filmleri büyütmek için kullanılır. ortalama sıcaklıkları diğer parçacıklardan iki kat daha büyük olabilir, dolayısıyla normal koşullar altında, birçok reaksiyonu gerçekleştirmek için Yüksek sıcaklıklara (300 derece C -450 derece C) ihtiyaç vardır. Biriktirme işlemi sırasında, özel gaz NH3 ve SiH4 molekülleri, yüksek frekansın etkisi altında yoğun termal harekete sahiptir ve moleküllerini iyonize etmek ve ardından SiNx oluşturmak için birbirleriyle çarpışır.
İKS PVD firmasında dekoratif kaplama makinası, takım kaplama makinası, DLC kaplama makinası, optik kaplama makinası, PVD vakum kaplama hattının anahtar teslimi projesi mevcuttur. Şimdi bize ulaşın, E-posta: iks.pvd@foxmail.com