Birikim hızı teneke filmlerin ark kaynak akımı etkisi
Jun 21, 2018| Birikim hızı teneke film performansını büyük bir etkisi vardır. Daha düşük bir ifade hızla hazırlanan ince film daha gevşek bir yüksek birikimi hızla hazırlanan film iyi sertlik ve bağ güç, daha yoğun iken. Birikim hızı ve ark kaynak geçerli güzel bir ilişkimiz var, araştırmalar teneke film biriktirme oranı katot akım yoğunluğu için orantılı olduğunu ve onun hesaplama formülüdür göstermişti:
R Jm/eρ =
Formül, R — ifade oranı ince film; J — katot akım yoğunluğu; m — molekül ağırlığı kalay; e — elektron ücret; Ρ — kalay teorik yoğunluğu
Şekil 4 elektron mikroskobu Bu çalışmada tarama tarafından ölçülen bir varyasyon film kalınlığı değiştirmek ile ark kaynağı geçerli diyagramıdır. Ark kaynak geçerli arttıkça, birikim hızı ve teneke filmin kalınlığı artar, formülü ile tam bir anlaşma içinde olan katman olduğunu görebilirsiniz. Ark kaynak geçerli 40 A olduğunda ifade oranı çok düşüktür ve 625nm/h teneke film biriktirme oranıdır. Ark kaynak geçerli 100 A arttı zaman teneke film biriktirme oranı 1857nm/h aynı koşullarda ulaşır.
Res. 4 teneke film kalınlığı ile ark kaynağı geçerli değiştirir.
Res. 5 vakum odası sıcaklık değişiklikleri ile ark kaynağı geçerli
Buna ek olarak, ark kaynak geçerli artarsa, hedef yüzey sıcaklığı ve vakum odasının sıcaklığı (Şekil 5) artacak. Bir yandan, orada daha fazla Ti parçacıklar iyonize ve teneke film oluşturmak için iyonize N ile etkileşim daha fazla Ti hedef, buharlaştırma. Film biriktirme oranı hızlandırılır böylece Öte yandan, substrat (örnek) yüzeyi sıcaklık artışı nedeniyle parçacık difüzyon işlemi kolaydır. Aynı zamanda, kimyasal tepkime, bakış açısıyla vakum odasının sıcaklık artışı nedeniyle Ti ve N teneke içine birleştirmek daha yüksektir ve böylece N iyonları büyük miktarda tepki gösterdi, elektrikli vakum derecesi bir artış kaynaklanan odasında, seyrek bir plazma parçacıkları engel substrat yüzeyine zayıflamış ve daha fazla parçacıklar substrat (örnek) ve mevduat yüzeyi bir filmin içine ulaşmak, böylece ifade oranı arttırılır.