Takım Kaplama Ekipmanlarının Temel Bileşenleri

Modern vakum kaplama ekipmanları (tek biçimli ısıtma teknolojisi, sıcaklık ölçüm teknolojisi, dengesiz magnetron püskürtme teknolojisi, yardımcı anot teknolojisi, ara frekans güç kaynağı, nabız teknolojisi) temel olarak vakum odası, vakum pompalama bölümü, vakum ölçüm bölümü, güç kaynağı parçası, süreçten oluşmaktadır. gaz giriş sistemi, mekanik şanzıman parçası, ısıtma ve sıcaklık ölçüm kısmı, iyon buharlaştırma veya püskürtme kaynağı, su soğutma sistemi ve diğer parçalar.

1. Vakum Odası

Kaplama ekipmanları ağırlıklı olarak sürekli kaplama üretim hattına ve tek odacıklı kaplama makinesine bölünmüştür. Kalıpların ve aletlerin yüksek ısı ve mekanik transmisyon parçaları kaplamasının yanı sıra, kalıbın şekli ve büyüklüğünün büyük farklılığı nedeniyle, sürekli kaplama üretim hattının gereksinimi karşılaması ve tek bölmeli kaplayıcının karşılanması genellikle zordur. her zaman kullanılır.

2. Vakumlu Pompalama Sistemi

Vakum teknolojisinde, vakum pompalama sistemi önemli bir bölümdür. Kalıpların ve alet kaplamasının yüksek yapışma gereklilikleri nedeniyle, kaplama işlemi iyi bir arka plan vakumu gerektirir, bu nedenle yüksek vakum derecesine ulaşmak için ekipmanın vakum pompalama sisteminin makul bir seçiminin yapılması zorunludur. Şu an için, ultra yüksek vakuma yaklaşana kadar atmosferik basınçtan çalışabilecek bir pompa yoktur. Bu nedenle, iyi vakum, tek vakumlu ekipman veya yöntemler ile elde edilemez. Mekanik pompa sistemi, moleküler pompa sistemleri ve benzeri gibi çeşitli pompalar birlikte kullanılmalıdır.

3. Vakum Ölçüm Sistemi

Vakum sisteminin vakum ölçüm kısmı, vakum odasındaki basıncı ölçmek için kullanılır. Vakum pompası gibi, tüm vakum aralığını ölçebilen vakum göstergesi yoktur. Farklı ilke ve şartlara göre çok sayıda vakum ölçer üretilmektedir.

4. Güç Kaynağı Sistemi

Hedef güç kaynağı temel olarak DC güç kaynağı (MDX gibi) ve ara frekans güç kaynağı (Amerikan AE Şirketi'nin PE, PEII ve PINACAL gibi) içerir. İş parçasının genellikle DC güç (MDX gibi), darbeli güç kaynağı (Amerikan AE Şirketi tarafından üretilen PINACAL + gibi) veya RF güç kaynağı (RF) ile birlikte sağlanması gerekir.

5. Proses Gaz Giriş Sistemi

Argon (Ar), helyum (Kr), azot (N2), asetilen (C2H2), metan (CH4), hidrojen (H2) ve oksijen (O2) gibi proses gazları genellikle gaz silindirleri tarafından sağlanır. Gaz basıncı düşürme vanası, gaz kesme vanası, boru hattı, gaz akış ölçer, selenoid valf, piezoelektrik valf aracılığıyla vakum odasına giriş yaparlar. Bu tip gaz giriş sisteminin avantajı, boru tesisatının basit ve anlaşılır olması ve silindirin tamir edilmesi veya değiştirilmesidir. Ayrıca, her bir kaplama makinesi birbirini etkilemez. Ayrıca, daha büyük kaplama atölyelerinde bulunan birçok katmanın bir grup silindiri paylaştığı durumlar da var. Bunun avantajları, gaz tüplerinin tüketimini azaltması ve birleşik planlama ve yerleşimi de beraberinde getirmesidir. Dezavantajı, çok sayıda eklem nedeniyle sızıntı olasılığının artmasıdır. Ayrıca, kaplama makineleri birbirine karışacaktır ve bir kaplama makinesi borusunun hava sızıntısı diğer kaplama makinelerinin ürün kalitesini etkileyebilir. Ek olarak, silindirleri değiştirirken, tüm ana çerçevelerin kullanım dışı bir durumda olması sağlanmalıdır.

6. Mekanik İletim Sistemi

Takım kaplaması, filmin kalınlıkta tek tip olması gerektiğini gerektirir. Bu nedenle, gereksinimleri karşılamak için kaplama işleminde üç dönüş olmalıdır. Yani, geniş bir iş parçası tablası rotasyonu çalışırken, küçük bir iş parçası taşıma tablası da dönmekte ve iş parçasının kendisi aynı zamanda dönebilmektedir. Mekanik tasarımda, genellikle, büyük iş parçası döner tablanın tabanının ortasında büyük bir tahrik dişlisi bulunur, bununla bir miktar küçük yıldız tekerleği çevrelenir ve ardından iş parçasını döndürmek için vites değiştirme çatalı kullanılır. Tabii ki, kalıp kaplamalarını yaparken, genellikle iki dönüş yeterlidir, ancak donanımın yük kapasitesi büyük ölçüde arttırılmalıdır.

7. Isıtma ve Sıcaklık Ölçüm Sistemi

Kalıp kaplaması yapılırken, iş parçasının eşit şekilde ısıtılmasının nasıl sağlanacağı dekoratif kaplama işleminden çok daha önemlidir. Kalıp kaplama ekipmanı genellikle ön ve arka iki ısıtıcıya sahiptir ve termokupl sıcaklığı ölçmek ve kontrol etmek için kullanılır. Bununla birlikte, termokuplun farklı sıkma noktaları nedeniyle, sıcaklık okuması iş parçasının gerçek sıcaklığı olamaz. İş parçasının gerçek sıcaklığını ölçmenin birçok yolu vardır. İşte kolay kullanımlı bir Yüzey Thermomeer. Bu termometrenin çalışma prensibi, termometre ısıtıldığında, tabandaki yayın genişleyecek şekilde ısıtılacaktır, böylece işaretleyici, konumlandırma işaretçisini maksimum sıcaklığa kadar dönmeye itecektir. Sıcaklık azaldığında, yay büzülür ve işaretçi ters yönde döner, ancak konumlandırma işaretçisi en yüksek sıcaklık konumunda kalır. Kapı açıldıktan sonra, konumlandırma işaretçisi tarafından gösterilen sıcaklık okunur, yani, yüzey odasında termometrede ısıtıldığında ulaşılan en yüksek sıcaklık.

8. İyon Buharlaşma ve Sıçrama Kaynakları

Çok-yaylı kaplamanın buharlaşma kaynağı genellikle yuvarlak, genellikle yuvarlak hedef olarak bilinir. Son yıllarda, dikdörtgen çoklu ark hedefi de ortaya çıkmıştır, ancak belirgin bir etki gözlenmemiştir. Yuvarlak hedef, bakır hedef tutucuya (katot tutucu) monte edilir ve ikisi birlikte vidalanır. Hedef tutucunun içinde mıknatıs vardır ve manyetik alan kuvveti mıknatısı ileri geri hareket ettirilerek değiştirilebilir ve aynı zamanda hareket hızı ve ark noktasının izi de bu şekilde ayarlanabilir. Hedefin ve hedef tutucunun sıcaklığını azaltmak için, hedef su kaynağına sürekli olarak soğutma suyu verilir. Hedef ile hedef tutucusu arasında yüksek elektriksel ve termal iletkenlik sağlamak için, kalay (Sn) conta da hedef ile hedef tutucu arasına eklenebilir. Ayrıca, magnetron püskürtme katmanı genellikle dikdörtgen veya silindirik hedefler kullanır.

9. Su Soğutma Sistemi

Kalıp kaplama için, metal atomlarının atomizasyon hızını arttırmak için, her bir katot hedef tutucusu, mümkün olduğu kadar büyük bir güç çıkışını benimser ve yeterli soğutma gerektirir. Ayrıca, birçok türde alet ve kalıp kaplamalarının ısıtma sıcaklığı 400 ~ 500 ℃'dir . Bu nedenle, vakum bölme duvarının ve her bir sızdırmazlık yüzeyinin soğutulması da çok önemlidir, bu nedenle, soğutma suyu tercihen yaklaşık 18 ila 20 ° C'lik bir soğutucudan sağlanır. Kapıyı açtıktan sonra sıcak hava ile temas ettiğinde, düşük sıcaklıklı vakum odası duvarlarının ve katodun hedeflerinin suyunun çözülmesini önlemek için, su soğutma sistemi, kapı açılmadan yaklaşık 10 dakika önce sıcak su besleme durumuna geçebilmelidir. Sıcak su sıcaklığı yaklaşık 40 ~ 45 is'dir.